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公开(公告)号：EP1422402A4
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：EP02770174
申请日：2002-08-29
发明人： MEGA MASAHIKO , TAKAHASHI KOJI , UEMURA YOSHITAKA , YAMAGUCHI KENGO , KANIKAWA MASAYA , TSUBOTA SYUHO , FUJITA KEN , TSUNATANI TOSHIHIKO , OHARA MINORU
IPC分类号： F01D5/28 , B23K26/00 , B23K26/14 , B23K26/20 , B23K26/28 , F01D5/14 , F01D5/18 , F01D5/20 , F02C3/05 , F02C3/30 , F02C7/00
CPC分类号： B23K26/206 , B23K26/28 , F01D5/147 , F01D5/18 , F01D5/20 , F02C3/05 , F02C3/30 , F05D2230/23
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2.发明公开METHOD OF PRODUCING PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE, AND FILM-FORMING APPARATUS 审中-公开用于生产的电转换PHOTO装置及成膜装置
公开(公告)号：EP2405483A4
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：EP09841142
申请日：2009-10-02
发明人： MIYAHARA HIROOMI , YAMAGUCHI KENGO
IPC分类号： H01L31/04 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L31/0392 , H01L31/076 , H01L31/18
CPC分类号： H01L21/0262 , H01L21/02532 , H01L31/03921 , H01L31/076 , H01L31/1804 , H01L31/1824 , Y02E10/545 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
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公开(公告)号：EP2261637A4
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：EP09806613
申请日：2009-07-02
IPC分类号： H01L31/04 , G01N21/21 , G01N21/35 , G01N21/3563 , G01N21/84 , G01N21/95 , G01R27/02 , H02S50/15
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/3563 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G01R31/2831 , H01L31/1884 , Y10T29/53126
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公开(公告)号：EP2133924A4
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：EP07792055
申请日：2007-08-06
IPC分类号： H01L31/04 , H01L31/0236 , H01L31/052 , H01L31/076 , H01L31/077 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/077 , H01L31/0236 , H01L31/056 , H01L31/076 , H01L31/182 , H01L31/1884 , Y02E10/52 , Y02E10/546 , Y02E10/548 , Y02P70/521
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