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    High reliability RF generator architecture
    3.
    发明公开
    High reliability RF generator architecture 审中-公开
    建筑工程师Hochfrequenzgenerator mit hoher Betriebssicherheit

    公开(公告)号：EP2276170A2

    公开(公告)日：2011-01-19

    申请号：EP10180421.9

    申请日：2006-07-28

    申请人： MKS Instruments, Inc.

    发明人： Radomski, Aaron T. ,  Smyka, Jon ,  Lincoln, Daniel J. ,  Chawla, Yogendra ,  Coumou, David J. ,  Lubomirsky, Vadim

    IPC分类号： H03F3/68 ,  H03F3/21

    CPC分类号： H03F3/602 ,  H03F1/0277 ,  H03F1/52 ,  H03F1/526 ,  H03F3/211 ,  H03F2200/451

    摘要： A scalable radio frequency (RF) generator system including at least one power supply, at least one power amplifier receiving input from the power supply, and a power supply control module, and a system controller. Output from the at least one power supply can be combined and applied to each of the power amplifiers. Output form each of the at least one power amplifiers can be combined to generate a single RF signal. A compensator module controls operation of the at least one power supply. The compensator module, system control module, and power supply controller communicate in a daisy chain configuration.

    摘要翻译： 一种可扩展射频（RF）发生器系统，包括至少一个电源，至少一个功率放大器，从电源接收输入，以及电源控制模块和系统控制器。 可以将来自至少一个电源的输出组合并应用于每个功率放大器。 可以组合至少一个功率放大器中的每一个的输出以产生单个RF信号。 补偿器模块控制至少一个电源的操作。 补偿器模块，系统控制模块和电源控制器以菊花链配置进行通信。

    High reliability RF generator architecture
    5.
    发明公开
    High reliability RF generator architecture 审中-公开
    高可靠性的RF发生器架构

    公开(公告)号：EP2276169A3

    公开(公告)日：2013-10-09

    申请号：EP10180410.2

    申请日：2006-07-28

    申请人： MKS Instruments, Inc.

    发明人： Radomski, Aaron T. ,  Smyka, Jon ,  Lincoln, Daniel J. ,  Chawla, Yogendra ,  Coumou, David J. ,  Lubomirsky, Vadim

    IPC分类号： H03F3/68 ,  H03F3/21 ,  H03F1/02 ,  H03F1/52 ,  H03F3/60

    CPC分类号： H03F3/602 ,  H03F1/0277 ,  H03F1/52 ,  H03F1/526 ,  H03F3/211 ,  H03F2200/451

    摘要： A scalable radio frequency (RF) generator system including at least one power supply, at least one power amplifier receiving input from the power supply, and a power supply control module, and a system controller. Output from the at least one power supply can be combined and applied to each of the power amplifiers. Output form each of the at least one power amplifiers can be combined to generate a single RF signal. A compensator module controls operation of the at least one power supply. The compensator module, system control module, and power supply controller communicate in a daisy chain configuration.

    摘要翻译： 一种可扩展射频（RF）发生器系统，包括至少一个电源，至少一个功率放大器接收来自电源的输入，以及电源控制模块和系统控制器。 来自至少一个电源的输出可以被组合并且被施加到每个功率放大器。 至少一个功率放大器中的每个功率放大器的输出可以被组合以生成单个RF信号。 补偿器模块控制至少一个电源的操作。 补偿器模块，系统控制模块和电源控制器以菊花链配置进行通信。