公开(公告)号：EP4347912A1

公开(公告)日：2024-04-10

申请号：EP22721839.3

申请日：2022-04-27

申请人： National Technical University of Athens ,  Bar-Ilan University ,  Graphenea Semiconductor SLU

发明人： PAPAZOGLOU, Symeon ,  ZACHARATOS, Filimon ,  LOGOTHETI, Adamantia ,  PESQUERA, Amaia ,  ZURUTUZA, Amaia ,  NAVEH, Doron ,  ZERGIOTI, Ioanna

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/06 ,  C23C14/12 ,  C23C14/58 ,  C23C14/28 ,  C01B32/184 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L29/16 ,  H01L21/02 ,  B82Y10/00 ,  G06F3/00 ,  H01L29/66 ,  H05K3/12 ,  H01L23/00 ,  B41J2/005 ,  B41M1/26 ,  B41M5/035 ,  B41M7/00 ,  B23K26/00 ,  B41J2/00