公开(公告)号：EP3491166A1

公开(公告)日：2019-06-05

申请号：EP17740027.2

申请日：2017-07-18

申请人： NeoCoat SA

发明人： RATS, David ,  NAAMOUN, Medhi ,  PROVENT, Christophe

IPC分类号： C23C16/27 ,  H01J37/32 ,  C23C16/511

公开(公告)号：EP2978871B1

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：EP14706065.1

申请日：2014-02-25

申请人： NeoCoat SA

发明人： RATS, David ,  PROVENT, Christophe

IPC分类号： C23C16/04 ,  C23C16/511 ,  C23C16/27 ,  H05H1/18 ,  H01J37/32

CPC分类号： C23C16/274 ,  B81C1/00373 ,  C01B32/25 ,  C23C16/045 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32201 ,  H01J37/32293 ,  H01J37/32403 ,  H01J37/32678 ,  H01J2237/327 ,  H01J2237/3321 ,  H01J2237/3323 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/02274

公开(公告)号：EP2978871A2

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：EP14706065.1

申请日：2014-02-25

申请人： NeoCoat SA

发明人： RATS, David ,  PROVENT, Christophe

IPC分类号： C23C16/04 ,  C23C16/511 ,  C23C16/27 ,  H05H1/18 ,  H01J37/32

CPC分类号： C23C16/274 ,  B81C1/00373 ,  C01B32/25 ,  C23C16/045 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32201 ,  H01J37/32293 ,  H01J37/32403 ,  H01J37/32678 ,  H01J2237/327 ,  H01J2237/3321 ,  H01J2237/3323 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/02274

摘要： The present invention relates to a method for depositing nanocrystalline diamond using a diamond vapor deposition facility which includes: a vacuum reactor (3) including a reaction chamber connected to a vacuum source; a plurality of plasma sources arranged along a matrix that is at least two-dimensional in the reaction chamber; and a substrate holder (5) arranged in the reactor, said method being characterized in that the deposition is carried out at a temperature of 100 to 500°C.

摘要翻译： 该装置包括：真空反应器（3），包括连接到真空源的反应室; 布置在反应器中的衬底保持器（5） 以及沿着反应室中的三维矩阵布置的一组等离子体源。 每个等离子体源在反应室中具有活性区，并且多个点源为等离子体表面的80-320 / m 2，等离子体的点源为同轴施加器（6）。 同轴施加器在其位于反应室中的端部具有限定活动区域的窗口。 独立权利要求包括：（1）沉积纳米晶体金刚石的方法; 和（2）通过该方法获得的部分。