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公开(公告)号:EP3801983A1
公开(公告)日:2021-04-14
申请号:EP19737215.4
申请日:2019-05-21
申请人: PBMC SA
发明人: MUNIER, Denis , MOLLARD, Doniphan
IPC分类号: B24B37/28 , B24B37/30 , B24B37/34 , H01L21/673 , H01L21/677 , B24B7/17 , B24B41/06 , B24B7/16 , B24B41/00
公开(公告)号:EP3801983A1
公开(公告)日:2021-04-14
申请号:EP19737215.4
申请日:2019-05-21
申请人: PBMC SA
发明人: MUNIER, Denis , MOLLARD, Doniphan
IPC分类号: B24B37/28 , B24B37/30 , B24B37/34 , H01L21/673 , H01L21/677 , B24B7/17 , B24B41/06 , B24B7/16 , B24B41/00