公开(公告)号：EP1800191A4

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：EP05795212

申请日：2005-10-12

申请人： RICOH KK

发明人： SEO MANABU ,  YAMADA YASUFUMI ,  NORIKANE YOSHIHIRO

IPC分类号： G03H1/04 ,  B23K26/00 ,  B23K26/08 ,  G02F1/01 ,  H01S3/00

CPC分类号： G03H1/0891 ,  B23K26/066 ,  B23K26/38 ,  G03H1/0808 ,  G03H1/2249 ,  G03H1/2286 ,  G03H1/2294 ,  G03H2001/0066 ,  G03H2001/0094 ,  G03H2001/048 ,  G03H2001/0484 ,  G03H2001/0491 ,  G03H2001/221 ,  G03H2001/2244 ,  G03H2001/2255 ,  G03H2210/30 ,  G03H2222/33 ,  G03H2222/35 ,  G03H2225/32 ,  G03H2240/42

摘要： A laser processing apparatus includes a laser source (11), a spatial phase modulator (13) configured to modulate a phase of a laser beam emitted from the laser source, a synthetic data generator (17) configured to generate synthetic data by combining hologram image data representing a pattern image to be processed with position displacement hologram data for shifting the pattern image to a prescribed position, the synthetic data being input to the spatial phase modulator for the phase modulation of the laser beams, and a focusing optical unit (14) configured to guide the phase-modulated laser beam onto a surface to be processed to reproduce the pattern image on the processed surface.

摘要翻译： 本发明提供一种激光加工装置，其包括激光源（11），对从激光源射出的激光的相位进行调制的空间相位调制器（13），将全息图像合成而生成合成数据的合成数据生成器（17） 以及用于将图案图像移位到规定位置的位置偏移全息图数据处理的图案图像的数据，所述合成数据被输入到用于激光束的相位调制的空间相位调制器，以及聚焦光学单元（14） 被配置为将相位调制的激光束引导到待处理的表面上以再现处理过的表面上的图案图像。