公开(公告)号：EP2237009A4

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：EP09705829

申请日：2009-01-30

Applicant: RITSUMEIKAN TRUST

Inventor： KIMATA MASAFUMI

IPC: G01L21/12

CPC classification number: G01L21/12

公开(公告)号：EP2034285A4

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：EP07742892

申请日：2007-05-07

Applicant: RITSUMEIKAN TRUST

Inventor： KIMATA MASAFUMI

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/02 ,  G01J1/44 ,  G01J5/02 ,  G01J5/12 ,  G01J5/20 ,  H01L27/14 ,  H01L35/32 ,  H01L37/00

CPC classification number: H04N5/33 ,  G01J5/10 ,  G01J5/24 ,  G01S3/781 ,  G01S3/783 ,  H01L27/14649