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公开(公告)号:EP2494375B1
公开(公告)日:2020-04-01
申请号:EP10768968.9
申请日:2010-10-26
申请人: Rakkatec Oy
发明人: ORAVA, Risto , SCHULMAN, Tom
IPC分类号: G01T3/08 , H01L31/115 , H01L31/118
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公开(公告)号:EP2494376B1
公开(公告)日:2020-01-22
申请号:EP10771432.1
申请日:2010-10-26
申请人: Rakkatec Oy
发明人: ORAVA, Risto , SCHULMAN, Tom
IPC分类号: G01T3/08 , H01L31/115 , H01L31/118
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