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发明公开
METHOD AND APPARATUS FOR EXTRACTING IONS FROM AN ION SOURCE FOR USE IN ION IMPLANTATION 审中-公开
标题翻译：方法和设备从离子源用以进行离子注入离子提取

公开(公告)号：EP2027601A4

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：EP07798405

申请日：2007-06-12

申请人： SEMEQUIP INC

发明人： HORSKY THOMAS N , MILGATE ROBERT W , SACCO GEORGE P , KRULL WADE ALLEN

IPC分类号： H01J27/00 , H01J20060101 , H01J7/24 , H01J37/08 , H01J37/317

CPC分类号： H01J37/08 , C23C14/48 , C23C14/564 , H01J9/38 , H01J27/024 , H01J37/3171 , H01J2209/017 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/0812 , H01J2237/083 , H01J2237/31701 , H01L21/265