公开(公告)号：EP2002466A4

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：EP07752757

申请日：2007-03-09

申请人： SKYWORKS SOLUTIONS INC

发明人： SHEN HONG ,  RAMANATHAN RAVI ,  LUO QIULIANG ,  WARREN ROBERT W ,  ABDALI USAMA K

IPC分类号： H01L21/283 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/60 ,  H01L23/492

CPC分类号： H01L23/4924 ,  H01L23/481 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/32 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/04026 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/83801 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/0132 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/05042 ,  H01L2924/10157 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/01031