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发明授权
Micro-fabricated device with thermoelectric device and method of making 有权
标题翻译：用其制备的热电装置和方法制造的微制造的部件

公开(公告)号：EP1443568B1

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：EP03020338.4

申请日：2003-09-09

申请人： Samsung Electronics Co., Ltd.

发明人： McKinnell, James C. , Liebeskind, John , Chen, Chien-Hua

IPC分类号： H01L35/32 , H01L23/38

CPC分类号： H01L35/32 , G11B9/10 , H01L23/38 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/10158 , Y10S257/93 , H01L2924/00