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发明授权
METHOD OF MAKING NAND FLASH MEMORY 有权
标题翻译： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES NAND-FLASH-SPEICHERS

公开(公告)号：EP2888763B1

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：EP13750456.9

申请日：2013-08-07

申请人： SanDisk Technologies LLC

发明人： SEL, Jongsun , PHAM, Tuan , TOKUNAGA, Kazuya , KINOSHITA, Hiro

IPC分类号： H01L27/115 , H01L21/28 , H01L29/66 , H01L29/788 , G11C16/04

CPC分类号： G11C16/0483 , H01L21/28273 , H01L27/11524 , H01L27/11529 , H01L27/11536 , H01L27/11541 , H01L29/66825 , H01L29/7881