公开(公告)号：EP1305452A4

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：EP01953623

申请日：2001-07-13

申请人： TEL EPION INC

发明人： MACK MICHAEL E ,  TORTI RICHARD P

IPC分类号： H01J49/40 ,  C23C14/22 ,  C23C14/52 ,  C23C14/54 ,  H01J37/304 ,  H01J49/06 ,  C23C14/00 ,  C23F1/04 ,  H01J37/244

CPC分类号： C23C14/544 ,  C23C14/221 ,  C23C14/52 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/0812

摘要： Methods and apparatus for measuring the distribution of cluster ion sizes in a gas cluster ion beam (GCIB) (202) and for determining the mass distribution and mass flow of cluster ions in a GCIB processing system (200) without necessitating the rejection of a portion of the beam (202) through magnetic or electrostatic mass analysis. The invention uses time-of-flight measurement means (226) to estimate or monitor cluster ion size distribution either before or during processing of a workpiece (210). The measured information is displayed and incorporated in automated control of a GCIB processing system.

摘要翻译： 用于测量气体团簇离子束（GCIB）（202）中的团簇离子尺寸的分布以及用于确定GCIB处理系统（200）中的团簇离子的质量分布和质量流量的方法和装置，而不需要拒绝部分 （202）通过磁性或静电质量分析。 本发明使用飞行时间测量装置（226）来在加工工件（210）之前或期间估计或监测团簇离子尺寸分布。 测量的信息被显示并且被并入GCIB处理系统的自动化控制中。