专利检索 ap:("TOYOTA CHUO KENKYUSHO KK") AND inv:"MIZUNO TAKANORI" 第 1 页

1.

发明公开
PRODUCTION DEVICE AND PRODUCTION METHOD FOR SILICON-BASED STRUCTURE 有权
标题翻译： PRODUKTIONSVORRICHTUNG UND PRODUKTIONSVERFAHRENFÜRAUF SILIIUM BASIERENDE KONSTRUKTION

公开(公告)号：EP1382565A4

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：EP02707133

申请日：2002-03-22

申请人： TOYOTA CHUO KENKYUSHO KK

发明人： SHIMAOKA KEIICHI , SAKATA JIRO , MIZUNO TAKANORI , OKUDA KATSUHARU , MATSUI MASAYUKI , SUZUKI YASUHIKO

IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , H01L21/00 , H01L21/302

CPC分类号： H01L21/31116 , H01L21/3065 , H01L21/32135 , H01L21/67069