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公开(公告)号:EP1779438B2
公开(公告)日:2019-07-31
申请号:EP05755884.3
申请日:2005-06-22
发明人: SUGIMOTO, Masahiro , KACHI, Tetsu , NAKANO, Yoshitaka , UESUGI, Tsutomu , UEDA, Hiroyuki , SOEJIMA, Narumasa
IPC分类号: H01L29/778 , H01L21/335
公开(公告)号:EP1779438B2
公开(公告)日:2019-07-31
申请号:EP05755884.3
申请日:2005-06-22
发明人: SUGIMOTO, Masahiro , KACHI, Tetsu , NAKANO, Yoshitaka , UESUGI, Tsutomu , UEDA, Hiroyuki , SOEJIMA, Narumasa
IPC分类号: H01L29/778 , H01L21/335