公开(公告)号：EP3410091A1

公开(公告)日：2018-12-05

申请号：EP17174143.2

申请日：2017-06-02

申请人： Trioptics GmbH

发明人： Erichsen, Iris ,  Bai, Alexander ,  Zilian, Simon ,  Ruprecht, Aiko ,  Dumitrescu, Eugen ,  Langehanenberg, Patrik

IPC分类号： G01M11/02 ,  G02B7/00

CPC分类号： G01M11/0292 ,  G01M11/0207 ,  G01M11/0221 ,  G02B7/005

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (2) zum Erfassen einer Abbildungsqualität eines optischen Systems (4) mit zumindest einer Linse (6) oder Linsengruppe. Die Vorrichtung (2) umfasst eine MTF-Messvorrichtung (10) zum Messen einer Modulationstransferfunktion an mehreren Feldpunkten im Bildfeld des optischen Systems (4) und eine Zentriermessvorrichtung (18) zum Messen eines Zentrierzustands des optischen Systems (4). Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Erfassen einer Abbildungsqualität eines optischen Systems (4) mit einer solchen Vorrichtung (2).