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    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems
    4.
    发明公开
    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems 有权
    多透镜光学系统的光学表面的曲率中心的位置的测量

    公开(公告)号：EP2458363A1

    公开(公告)日：2012-05-30

    申请号：EP11009187.3

    申请日：2011-11-19

    申请人： Trioptics GmbH

    发明人： Heinisch, Josef ,  Krey, Stefan ,  Dumitrescu, Eugen ,  Ruprecht, Aiko ,  Langehanenberg, Patrik

    IPC分类号： G01M11/02

    CPC分类号： G01M11/0221

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten (K1, K2, K3) optischer Flächen (S1, S2, S3) eines mehrlinsigen optischen Systems (62). Zunächst werden die Abstände zwischen den Flächen (S1, S2, S3) entlang einer Bezugsachse (34) unter Verwendung eines Interferometers (24) gemessen. Anschließend werden die Krümmungsmittelpunkte (K1, K2, K3) der Flächen (S1, S2, S3) unter Verwendung einer optischen Winkelmesseinrichtung (22) gemessen. Bei der Messung der Position des Krümmungsmittelpunkts einer innerhalb des optischen Systems (62) liegenden Fläche (S2, S3) werden die gemessenen Positionen der Krümmungsmittelpunkte (K1, K2) der zwischen dieser Fläche (S2, S3) und der Winkelmesseinrichtung (22) liegenden Flächen (S1, S2) und die zuvor gemessenen Abstände zwischen den Flächen (S1, S2, S3) rechnerisch berücksichtigt. Auf diese Weise wird eine besonders hohe Messgenauigkeit erzielt, weil nicht auf Soll-abstände zurückgegriffen werden muss.

    摘要翻译： 该方法包括沿着使用短相干干涉仪（24）的基准轴（34）计算所述光学表面的多透镜光学系统（62）的（S1-S3）之间的距离。 光学表面的曲率（K1-K3）的中心的位置是使用以光学角度measuremnet装置（22）测得的，基于光学表面的计算的距离。 一个独立的claimsoft包括用于测量在多透镜光学系统的光学表面的曲率中心的位置的设备。

    Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Abständen zwischen optischen Flächen eines optischen Systems
    5.
    发明公开
    Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Abständen zwischen optischen Flächen eines optischen Systems 有权
    用于测量的光学系统的光学表面之间的距离的方法和装置

    公开(公告)号：EP2458321A1

    公开(公告)日：2012-05-30

    申请号：EP11009186.5

    申请日：2011-11-19

    申请人： Trioptics GmbH

    发明人： Heinisch, Josef ,  Krey, Stefan ,  Dumitrescu, Eugen ,  Ruprecht, Aiko ,  Langehanenberg, Patrik

    IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/14 ,  G01B11/27 ,  G01M11/02

    CPC分类号： G01B9/0209 ,  G01B9/02025 ,  G01B11/14 ,  G01B11/272 ,  G01M11/0221

    摘要： Bei einem Verfahren zur Messung von Abständen zwischen optischen Flächen (S1, S2, S3) eines optischen Systems (38) wird der Zentrierzustands des optischen Systems (38) erfasst, indem ein Prüflichtstrahl (50), der sich entlang der Bezugsachse (34) ausbreitet, auf das optische System (38) gerichtet wird. Dieser trifft, nachdem er das optische System (38) vollständig durchtreten hat, auf einen ortsauflösenden optischen Sensor (22) auf, wodurch alle optischen Flächen (S1, S2, S3) des optischen Systems (38) bei der Erfassung des Zentrierzustands berücksichtigt werden. Das optische System wird dann unter Berücksichtigung des zuvor erfassten Zentrierzustands justiert. Anschließend wird das optische System mit einem Messlichtstrahl (50) durchleuchtet, der sich entlang einer Bezugsachse (34) ausbreitet. Anteile des Messlichtstrahls (60), die von den optischen Flächen (S1, S2, S3) reflektiert wurden, werden mit einem Referenzlichtstrahl (52) in einem Interferometer (24) überlagert. Durch Erfassen und Auswerten von Interferenzerscheinungen zwischen den reflektierten Anteilen (60) und dem Referenzlichtstrahl (52) werden die Abstände zwischen den optischen Flächen (S1, S2, S3) entlang der Bezugsachse (34) bestimmt.

    摘要翻译： 该方法包括通过空间分辨通过光学系统（38），以检测光学表面的光学系统的（S1-S3）的定心条件后光学传感器（22）接收检测光（50），该光学系统是基于定心条件调整。 测量照射光学表面上的光束的重叠部分被反射，与干涉仪（24）的参考光束（52）。 沿着参考轴线的光学表面之间的距离是确定的，通过检测和反射部分（60）和参考光束之间的干涉评价的现象开采。 一个独立的claimsoft包括用于测量光学系统的光学区域之间的距离的设备。