MEMS-SCHALLWANDLER MIT EINER GEKRÜMMTEN KONTUR EINES KRAGARMELEMENTS

    公开(公告)号:EP4447489A2

    公开(公告)日:2024-10-16

    申请号:EP24197146.4

    申请日:2022-11-17

    申请人: USound GmbH

    IPC分类号: H04R19/00

    摘要: Die Erfindung betrifft einen MEMS-Schallwandler (1) zum Erzeugen und/oder Erfassen von Schallwellen mit einem Träger (2), der eine Kavitätswand (4) aufweist, die zumindest teilweise eine Kavität (3) des MEMS-Schallwandlers (1) begrenzt, und mit zumindest einem Kragarmelement (5, 6, 7, 8), das einen fest mit dem Träger (2) verbundenen Basisabschnitt (9) und einen über die Kavitätswand (4) überstehenden flexiblen Auslenkabschnitt (10) aufweist, wobei der Auslenkabschnitt (10) ein der Kavitätswand (4) zugewandtes Basisende (11) und ein relativ gegenüber dem Träger (2) in Richtung einer Hubachse (H) des MEMS-Schallwandlers auslenkbares freies Ende (12) aufweist. Erfindungsgemäß weist das Basisende (11) des Auslenkabschnitts (10) in einer Schallwandlerdraufsicht eine gekrümmte erste Kontur (27) auf.

    MEMS-VORRICHTUNG MIT EINEM VERBINDUNGSELEMENT

    公开(公告)号:EP4391589A1

    公开(公告)日:2024-06-26

    申请号:EP23216673.6

    申请日:2023-12-14

    申请人: USound GmbH

    IPC分类号: H04R17/00 H04R19/00

    CPC分类号: H04R17/00 H04R19/005

    摘要: Die Erfindung betrifft eine MEMS-Vorrichtung (1), insbesondere zur Schallerzeugung und/oder Schallerfassung, mit einer Membran (2), die entlang einer Hubachse (3) auslenkbar ist, und mit einer MEMS-Einheit (7), die zumindest einen Kragarm (8) zum Erzeugen und/oder Erfassen einer Hubbewegung der Membran (2), der entlang der Hubachse (3) von der Membran (2) beabstandet ist, so dass zwischen dem Kragarm (8) und der Membran (2) ein Hohlraum (9) ausgebildet ist, eine Hubstruktur (12), die in dem Hohlraum (9) angeordnet und mit der Membran (2) verbunden ist, und ein Verbindungselement (14), das den Kragarm (8) beweglich mit der Hubstruktur (12) verbindet, umfasst. Erfindungsgemäß verschmälert und/oder verbreitert sich das Verbindungselement (14) in Richtung der Hubstruktur (12) in zumindest einem Abschnitt und/oder weist zumindest eine Aussparung (24, 25) auf. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine MEMS-Einheit für eine entsprechende MEMS-Vorrichtung sowie eine Elektronikvorrichtung mit einer entsprechenden MEMS-Vorrichtung.

    HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR MEHRERE MEMS-SCHALLWANDLER

    公开(公告)号:EP3684081A1

    公开(公告)日:2020-07-22

    申请号:EP20152246.3

    申请日:2020-01-16

    申请人: Usound GmbH

    IPC分类号: H04R31/00 H04R17/00

    摘要: Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für mehrere MEMS-Schallwandler (1) mit den folgenden Schritten: Herstellen eines rekonstruierten Wafers (30), wobei mehrere Chips (2) eines Wafers (29) voneinander getrennt, die getrennten Chips (2) voneinander beabstandet angeordnet und mit einer Formmasse (12) umgossen werden; Freistellen zumindest eines Piezoelements (4, 5) der jeweiligen Chips (2), so dass dieses entlang einer Hubachse (8) auslenkbar ist, wobei die Piezoelemente (4, 5), erst nachdem die Chips (2) mit der Formmasse (12) umgossen wurden, freigestellt werden; Verbinden des rekonstruierten Wafers (30) mit mehreren den jeweiligen Chips (2) zugeordneten Membranen (23), wobei die Membrane (23) jeweils mit dem zumindest einen zugeordneten Piezoelement (4, 5) derart verbunden werden, dass die Membrane (23), nachdem die Piezoelemente (4, 5) freigestellt wurden, jeweils gemeinsam mit dem zumindest einen zugeordneten Piezoelement (4, 5) entlang der Hubachse (8) auslenkbar sind; Vereinzelung der MEMS-Schallwandler (1), die jeweils zumindest einen der Chips (2) und eine der Membrane (23) umfassen. Ferner betrifft die Erfindung einen MEMS-Schallwandler der mit dem vorstehenden Herstellungsverfahren hergestellt wurde.

    VORRICHTUNG ZUR AUDIOSIGNALVERARBEITUNG FÜR EINEN PIEZOELEKTRISCHEN LAUTSPRECHER

    公开(公告)号:EP3595332A1

    公开(公告)日:2020-01-15

    申请号:EP19186136.8

    申请日:2019-07-12

    申请人: Usound GmbH

    IPC分类号: H04R17/00

    摘要: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) und Verfahren zur Audiosignalverarbeitung für einen piezoelektrischen Lautsprecher (2) zum Erzeugen von Schallwellen im hörbaren Wellenlängenspektrum mit einem Signaleingang (3) für ein digitales Audiosignal (V in ), mit einer digitalen Korrektureinheit (4) zur Korrektur einer Nichtlinearität des Lautsprechers (2), mit einem digitalen PWM-Generator (5), mit dem das von der Korrektureinheit (4) korrigierte Signal in ein pulsweitenmoduliertes Schaltsignal umwandelbar ist, mit einer Leistungsstufe (6), die mit dem von dem PWM-Generator (5) umgewandelten Schaltsignal derart ansteuerbar ist, dass ein piezoelektrischer Aktor des Lautsprechers (2) zum Auslenken einer Membran mit einer Spannung (X) aufladbar ist, und mit einer einen Regelkreis ausbildenden Rückkopplung, mit der die Spannung als Rückführsignal (Y(z), Y dig ) rückkoppelbar ist, wobei das Rückführsignal (Y(z), Y dig ) im bestimmungsgemäßen Gebrauch im hörbaren Frequenzbereich ein von der Korrektureinheit (4), dem PWM-Generator (5), der Leistungsstufe (6) und/oder dem piezoelektrischen Lautsprecher (2) verursachtes erstes Signalrauschen (Q z ) aufweist. Erfindungsgemäß weist die Vorrichtung (1) eine Rauschformungseinheit (16) auf, die derart ausgebildet und/oder derart in den Regelkreis implementiert ist, dass mittels dieser eine Rauschenergie des ersten Signalrauschens (Q z ) außerhalb des hörbaren Frequenzbereichs verschiebbar ist.

    MEMS-SCHALLWANDLER MIT EINER GEKRÜMMTEN KONTUR EINES KRAGARMELEMENTS

    公开(公告)号:EP4184947A1

    公开(公告)日:2023-05-24

    申请号:EP22207935.2

    申请日:2022-11-17

    申请人: USound GmbH

    IPC分类号: H04R19/00

    摘要: Die Erfindung betrifft einen MEMS-Schallwandler (1) zum Erzeugen und/oder Erfassen von Schallwellen mit einem Träger (2), der eine Kavitätswand (4) aufweist, die zumindest teilweise eine Kavität (3) des MEMS-Schallwandlers (1) begrenzt, und mit zumindest einem Kragarmelement (5, 6, 7, 8), das einen fest mit dem Träger (2) verbundenen Basisabschnitt (9) und einen über die Kavitätswand (4) überstehenden flexiblen Auslenkabschnitt (10) aufweist, wobei der Auslenkabschnitt (10) ein der Kavitätswand (4) zugewandtes Basisende (11) und ein relativ gegenüber dem Träger (2) in Richtung einer Hubachse (H) des MEMS-Schallwandlers auslenkbares freies Ende (12) aufweist. Erfindungsgemäß weist das Basisende (11) des Auslenkabschnitts (10) in einer Schallwandlerdraufsicht eine gekrümmte erste Kontur (27) auf.