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发明授权
STANDARD ZUR KALIBRIERUNG UND ÜBERPRÜFUNG EINES OBERFLÄCHENINSPEKTIONS-GERÄTES UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES STANDARDS 失效
标题翻译：标准校准和表面检查装置的验证和制造方法标准

公开(公告)号：EP0965036B1

公开(公告)日：2001-06-13

申请号：EP98913674.2

申请日：1998-03-06

申请人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft

发明人： SCHMOLKE, Rüdiger , GERBER, Hans-Adolf , GRÄF, Dieter , KERSCHREITER, Robert , LUGER, Anton , SUHREN, Monique

IPC分类号： G01N21/88

CPC分类号： G01N21/93

摘要： The invention relates to a reproducible standard for calibrating and checking the bright-field channel of a surface inspection device used for examining the flat surface of a sample and to a method for producing said standard whereby a microstructure is produced on a surface of a substrate provided as a standard, characterized in that the microstructure is smoothed out.

2.

发明公开
STANDARD ZUR KALIBRIERUNG UND ÜBERPRÜFUNG EINES OBERFLÄCHENINSPEKTIONS-GERÄTES UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES STANDARDS 失效
标题翻译：标准校准和表面检查装置的验证和制造方法标准

公开(公告)号：EP0965036A1

公开(公告)日：1999-12-22

申请号：EP98913674.0

申请日：1998-03-06

申请人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft

发明人： SCHMOLKE, Rüdiger , GERBER, Hans-Adolf , GRÄF, Dieter , KERSCHREITER, Robert , LUGER, Anton , SUHREN, Monique

IPC分类号： G01B11 , G01N21 , H01L21

CPC分类号： G01N21/93

摘要： The invention relates to a reproducible standard for calibrating and checking the bright-field channel of a surface inspection device used for examining the flat surface of a sample and to a method for producing said standard whereby a microstructure is produced on a surface of a substrate provided as a standard, characterized in that the microstructure is smoothed out.