公开(公告)号：EP2940528B1

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：EP15165648.5

申请日：2015-04-29

Applicant: Wistron NeWeb Corp.

Inventor： Radi, Babak ,  Chen, Shih-Hong ,  Kuo, Yu-Fu ,  Chen, Chun-Lin ,  Chen, Jing-Wen

IPC: G03F7/20 ,  H01L23/06 ,  B32B15/04 ,  B32B15/08 ,  B32B15/20 ,  B32B3/02 ,  B32B3/30 ,  C23C18/16 ,  C23C18/18 ,  H01Q1/22

CPC classification number: C23C18/1605 ,  B32B3/02 ,  B32B3/30 ,  B32B15/043 ,  B32B15/08 ,  B32B15/20 ,  B32B2255/06 ,  B32B2255/205 ,  B32B2255/24 ,  B32B2457/00 ,  C23C18/182 ,  G03F7/202 ,  H01L23/06 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/09 ,  H05K3/0026 ,  H05K3/107 ,  H05K3/243 ,  H05K2201/0338 ,  H05K2203/072 ,  Y10T428/12361 ,  Y10T428/24331 ,  H01L2924/00