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发明公开
METHOD FOR MONITORING AND CONTROL OF PULSED LASER MICRO-PROCESSING AND APPARATUS FOR CARRYING OUT THIS METHOD 审中-公开

公开(公告)号：EP4323141A1

公开(公告)日：2024-02-21

申请号：EP21851962.7

申请日：2021-12-23

申请人： Západoceská univerzita v Plzni

发明人： MARTAN, Jirí , MOSKAL, Denys , HONNER, Milan , BALLARDIN BELTRAMI, Carlos , LANG, Vladislav

IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/046 , B23K26/352 , B23K26/354 , B23K26/362