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    KORPUSKULARSTRAHLGERÄT UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES KORPUSKULARSTRAHLGERÄTS
    4.
    发明公开
    KORPUSKULARSTRAHLGERÄT UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES KORPUSKULARSTRAHLGERÄTS 审中-公开
    KORPUSKULARSTRAHLGERÄTUND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINESKORPUSKULARSTRAHLGERÄTS

    公开(公告)号：EP3107113A1

    公开(公告)日：2016-12-21

    申请号：EP16172771.4

    申请日：2016-06-03

    申请人： Vistec Electron Beam GmbH

    发明人： BORSCHEL, Christian

    IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/02

    CPC分类号： B08B7/04 ,  B08B5/00 ,  B08B7/005 ,  H01J37/02 ,  H01J37/18 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/31793

    摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Korpuskularstrahlgerät und ein Verfahren zum Betreiben eines Korpuskularstrahlgeräts. Das Korpuskularstrahlgerät weist eine Säule (10) mit einer Korpuskularstrahl-Optik zur Erzeugung eines Korpuskularstrahls auf, um darüber in einem Belichtungsbetrieb in einer Vakuum-Probenkammer (20) ein gewünschtes Muster zu belichten. Über ein Gaszuführsystem wird in einem Reinigungsbetrieb der Säule und/oder der Vakuum-Probenkammer ein regulierbarer Gasstrom mit photodissoziierbarem Gas zugeführt. Mittels mehrerer in der Säule und/oder in der Vakuum-Probenkammer räumlich verteilt angeordneter Lichtquellen (15.1-15.5) wird im Reinigungsbetrieb die Photodissoziation des zugeführten Gases bewirkt. Im Reinigungsbetrieb sind über eine mit den Lichtquellen verbundene Steuereinheit (30) einzelne Lichtquellen zeitlich selektiv ein- und ausschaltbar, um gezielt einzelne Elemente in der Säule und/oder in der Vakuum-Probenkammer zu reinigen

    摘要翻译： 在粒子束装置和粒子束装置的操作方法中，粒子束装置具有具有用于产生粒子束的粒子束光学系统的列，从而在曝光动作中露出真空样品室中的期望图案 。 在清洁操作中，具有可光解离气体的可调节气流通过气体供给系统供给到塔和/或真空样品室。 借助于在柱和/或真空样品室中空间分布的多个光源，在提供的气体的光分解进行清洁操作。 在清洁操作中，单个光源能够经由连接到光源的控制单元相对于时间选择性地接通和断开，以便以目标方式清洁柱和/或真空样品室中的各个元件 时尚。

    Method of cleaning an implement during handling a plurality of samples
    5.
    发明公开
    Method of cleaning an implement during handling a plurality of samples 有权
    一种用于大量样品的处理过程中清洁工具处理

    公开(公告)号：EP1391243A1

    公开(公告)日：2004-02-25

    申请号：EP03253757.3

    申请日：2003-06-13

    申请人： Genetix Limited

    发明人： Atkinson, George Robert ,  Hallam, Alysia

    IPC分类号： B01L11/00 ,  B08B3/02 ,  G01N35/10

    CPC分类号： C12Q1/6848 ,  B01L99/00 ,  B08B7/005 ,  B08B7/0057 ,  G01N35/1004 ,  G01N2035/00277 ,  C12Q2523/313

    摘要： A method of cleaning a pin head or other implements between handling a plurality of samples of nucleic acid subject to an amplification process using a biochemical amplification product. The method comprises exposing the pin head or other implement to ultraviolet (UV) and preferably also infrared (IR) illumination between handling different samples in order to suppress cross-contamination by non-specific amplification. The biochemical amplification product may be obtained from a rolling circle amplification (RCA) procedure, such as that catalyzed by bacteriophage phi29, or a polymerase chain reaction (PCR) amplification product.

    摘要翻译： 清洁销头部或处理核酸扩增过程受试者的样品的多元性上使用生物化学扩增产物之间的其它工具的方法。 因此该方法包括使所述销头或其它工具，以紫外（UV）和，以通过非特异性扩增来抑制交叉污染处理不同样品之间的优选的红外（IR）照明。 生化扩增产物可以从滚环扩增（RCA）的程序获得，为检测并通过噬菌体的phi29，或聚合酶链式反应（PCR）扩增产物催化。