FERTIGUNGSANLAGE ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN AUS HALBLEITER-WAFERN SOWIE WAFFELELEMENT FÜR EINE FERTIGUNGSANLAGE
    3.
    发明公开
    FERTIGUNGSANLAGE ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN AUS HALBLEITER-WAFERN SOWIE WAFFELELEMENT FÜR EINE FERTIGUNGSANLAGE 审中-公开
    制造工厂半导体晶片和WAFFLE元素的集成电路期制造商厂生产

    公开(公告)号:EP3141960A2

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:EP16001979.0

    申请日:2016-09-12

    申请人: M+W Group GmbH

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: Die Fertigungsanlage dient zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen auf Halbleiter-Wafern und hat wenigstens einen Strahlungserzeuger, der eine EUV-Strahlung erzeugt. Sie wird wenigstens einer Lithografie-Maschine zur Belichtung der Wafer zugeführt. Die Lithografie-Maschine ist in einem Fabrikationsgebäude (1) untergebracht. Der Strahlungserzeuger befindet sich in einem vom Fabrikationsgebäude (1) getrennten Gebäude (3) oder Gebäudeabschnitt. Die EUV-Strahlung wird über wenigstens eine Strahlführung (9) dem Fabrikationsgebäude (1) zugeführt. Von der Strahlführung (9) zweigt unter einem stumpfen Winkel wenigstens eine Zuleitung (21) ab, über die wenigstens ein Teil der EUV-Strahlung der Lithografie-Maschine (2) zugeführt wird. Das Waffelelement (22) hat wenigstens einen Durchlass (27), der rechteckigen Umriss aufweist und mit einer Mittelebene des Waffelelementes (22), in Draufsicht auf das Waffelelement (22) gesehen, einen spitzen Winkel (α) einschließt. Die Fertigungsanlage sowie das Waffelelement (22) ermöglichen eine kostengünstige und einfache Gestaltung der Zuführung der EUV-Strahlung zur Lithografie-Maschine (2).

    摘要翻译: 用于在半导体晶片上制造集成电路的生产设施,并具有产生的EUV辐射的至少一个辐射发生器。 它被馈送到至少一个光刻机以暴露晶片。 在厂房光刻机(1)容纳。 辐射发生器位于厂房中的一个(1)独立的建筑(3)或建筑的部分。 EUV辐射是通过至少一个光束导向(9)的制造建筑物(1)提供。 束导管(9)在从至少一个进料管线(21)的钝角分支,经由光刻机(2)的EUV辐射的至少一部分供电。 晶片构件(22)具有矩形轮廓的至少一个通道(27)和具有在晶片元件(22),在晶片元件(22)的俯视的中央平面中,锐角(±)包括。 制造系统和晶片构件(22)允许所述EUV辐射的供给到光刻机(2)的廉价且简单的结构。

    Bausatz zum Verrohren und Verkleiden von Sanitärräumen
    4.
    发明公开
    Bausatz zum Verrohren und Verkleiden von Sanitärräumen 审中-公开
    工具包管道和卫生设施修整

    公开(公告)号:EP2840200A1

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:EP14175895.3

    申请日:2014-07-07

    发明人:

    摘要: Die Erfindung betrifft einen Bausatz zum Verkleiden und Verrohren von Sanitärräumen mit einer Mehrzahl von werkseitig vorgefertigten Wandelementen, wobei die Wandelemente eine Trägerplatte und eine mit der Trägerplatte verbundene Dekorschicht umfassen und wobei in mindestens einem Wandelement in der Trägerplatte Ausnehmungen und in den Ausnehmungen geführte Installationsleitungen für die Warm- und/oder Kaltwasserführung und/oder Installationsleitungen für ein Heizmodul und/oder Elektroleitungen vorgesehen sind, welche sich über einen Teil der Höhe des mindestens einen Wandelements erstrecken, und mit mindestens einer den Installationsleitungen und/oder den Elektroleitungen zugeordneten Funktionsstelle, welche als eine Anschlussstelle oder ein Steuerelement für einen Wasser- und/oder Stromverbraucher und/oder für das Heizmodul ausgebildet ist, wobei das Wandelement als ein wärmegedämmtes Wandelement ausgebildet ist.

    摘要翻译: 本发明涉及一种用于娱乐的试剂盒和管道与多个工厂预制墙元件的卫生空间,所述壁元件包括支撑板和装置,其连接到支撑板的装饰层,并且其中在所述支撑板的凹部中至少一个壁元件被引导并进入用于凹部安装电缆 用于提供和/或电线的加热模块,其上延伸的至少一个壁元件的高度的一部分,并且具有至少一个安装导管和/或电力线热和/或冷水供应和/或安装的电缆分配的功能位置其中作为 是结或用于水和/或电力用户和一个控制/或设计用于在加热模块,其中,所述壁元件形成为隔热壁元件。

    GLASS SUBSTRATES WITH TOUCHSCREEN TECHNOLOGY

    公开(公告)号:EP3322863A1

    公开(公告)日:2018-05-23

    申请号:EP17810747.0

    申请日:2017-06-01

    IPC分类号: E04F13/08 G06F3/044 G06F3/041

    摘要: Embodiments are generally directed to modular wall systems. Such modular wall systems include a modular frame, one or more tiles attached to the modular frame, a decorative panel positioned between at least one of the tiles and an inter-connected conductive plate, and conductive plates that are configured to hold an electrical potential and detect an electrical capacitance through the decorative panel at an identified position on the conductive plate when touched. In another embodiment, a modular wall system includes a modular frame, tiles attached to the modular frame, conductive plates that have pockets formed therein, and an inductive plate disposed in the pocket of the conductive plate. As such, the inductive plate provides a hidden switching location that, when activated, triggers transmission of a signal to a specified destination

    Bausatz zum Verkleiden und Verrohren von Sanitärräumen
    7.
    发明公开
    Bausatz zum Verkleiden und Verrohren von Sanitärräumen 审中-公开
    套件娱乐和管道公共厕所

    公开(公告)号:EP2853650A1

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:EP14175900.1

    申请日:2014-07-07

    发明人:

    IPC分类号: E04C2/52 E04F13/08

    摘要: Die Erfindung betrifft einen Bausatz zum Verkleiden und Verrohren von Sanitärräumen mit einer Mehrzahl von werkseitig vorgefertigten Wandelementen (1), wobei die Wandelemente eine Trägerplatte (2) und eine mit der Trägerplatte verbundene Dekorschicht (3) umfassen und wobei in mindestens einem Wandelement in einer Ausnehmung der Trägerplatte Installationsleitungen für die Warm- und/oder Kaltwasserführung und/oder Installationsleitungen für ein Heizmodul und/oder Elektroleitungen vorgesehen sind, welche sich über einen Teil der Höhe des mindestens einen Wandelements erstrecken, und mit mindestens einer den Installationsleitungen und/oder den Elektroleitungen zugeordneten Funktionsstelle, welche als eine Anschlussstelle oder ein Steuerelement für einen Wasser- und/oder Stromverbraucher und/oder für das Heizmodul ausgebildet ist, wobei die Trägerplatte nach Art einer Hohlkammerplatte mit einer Mehrzahl langerstreckter Hohlkammern (4) ausgebildet ist.

    摘要翻译: 本发明涉及一种用于娱乐的试剂盒,并与多个工厂预制墙元件(1)的,其中,所述壁元件包括支撑板(2)和装置,连接到所述支撑板的装饰层(3)管道的卫生空间,并且其中,在一个凹部的至少一个壁元件 提供了用于热和/或冷水供应和/或安装电缆的加热模块和/或电缆,其中在延伸的至少一个壁元件的高度的一部分的支承板安装管道,和具有至少一个安装导管和/或电力线相关联的 其形成为连接点或用于水和/或电力用户和/或所述加热模块的控制,由此形成为中空室板的方式支承板具有多个长拉伸中空室(4)的功能位置。

    Verfahren zum Renovieren von Sanitärräumen und Installationsanordnung für Sanitärräume
    8.
    发明公开
    Verfahren zum Renovieren von Sanitärräumen und Installationsanordnung für Sanitärräume 审中-公开
    一种用于卫生设施改造和安装安排卫生设施的方法

    公开(公告)号:EP2845963A1

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:EP14175897.9

    申请日:2014-07-07

    发明人:

    摘要: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Renovieren von Sanitärräumen, bei welchen zunächst als Bausatz werksseitig verschiedene Wandelemente bestehend aus einer Trägerplatte und einer daran festgelegten Dekorschicht gefertigt werden, wobei in mindestens einem der Wandelemente in der Trägerplatte Installationsleitungen für die Warm- und/oder Kaltwasserführung und/oder Installationsleitungen für ein Heizungsmodul und/oder Elektroleitungen eingebettet sind, welche sich über mindestens einen Teil der Höhe des jeweiligen Wandelements erstrecken, und wobei an dem Wandelement den Installationsleitungen und/oder den Elektroleitungen zugeordnete Funktionsstellen, welche als Anschlussstellen oder Steuerelemente für einen Wasser- und/oder Stromverbraucher und/oder für das Heizmodul ausgebildet sind, vorgesehen werden, und bei welchen die vorgefertigten Wandelemente anschließend an den Wänden des Sanitärraums an den hierfür vorgesehenen Stellen festgelegt werden und dann die wandelementseitigen Installationsleitungen und/oder Elektroleitungen mit den Wasser- und/oder Stromverbrauchern und/oder mit dem Sanitärraum vorhandenen Versorgungs- und/oder Entsorgungsrohren verbunden werden, wobei vor der Festlegung der Wandelemente im Bereich eines Bodens des Sanitärraums eine fluiddichte Wanne ausgebildet wird, welche einem Eindringen von Feuchtigkeit in einen unterhalb der Wanne gelegenen Fußbodenabschnitt entgegenwirkt.

    摘要翻译: 本发明涉及一种用于卫生设施改造的方法,最初的试剂盒工厂不同壁板由载体板,其中与一个固定在其上的装饰层的制造,其中,在用于热和/或冷水供给所述支撑板安装管道壁元件中的至少一个和/ 是加热模块和/或电缆,其在相应的壁元件的高度的至少一部分上延伸的上嵌入或安装电缆,并且其中,所述安装线和/或分配给该壁构件的功能点的电力线,其作为连接点或控制用于水和 /或电流负载和/或形成用于所述加热模块可被提供,并且其中所述的预制墙元件然后固定到所提供的卫生室到空间的壁上,然后将壁 lementseitigen安装导管和/或电线,以水和/或电力用户和/或与卫生室供给和/或处理管现有连接,其特征在于,以流体密封的托盘在卫生房间的地板的区域中的壁元件的判定之前形成,即一个 对抗水分渗透到位于地板部分下方的盘中。

    FLOORING MODULE
    9.
    发明公开
    FLOORING MODULE 审中-公开
    地板模块

    公开(公告)号:EP3189194A1

    公开(公告)日:2017-07-12

    申请号:EP15837974.3

    申请日:2015-09-04

    发明人: GRAY, Mark

    摘要: A flooring module (100) for forming a temporary access floor comprises a base component (1) defining a cruciform channel formation (3, 4) for receiving cabling or the like. The channels (3, 4) have a floor (1A) defined by the base component and a removable channel cover (2). The channel cover (2) comprises one or more channel cover components for covering the channel formation, such that the channel formation and channel cover may combine to provide a closed channel for the cabling or the like. Removal of the cover (2) allows access to the channel formation from above, in use. The sides of the base component (1) define module connector clips (20, 21) for engaging with corresponding module connector clips on adjacent modules to lock the modules together in an array. The base component (1) defines retaining formations (13, 14) for engaging with and retaining the channel cover components over the channel formation. The channel cover (2) engages against one or more of the module connector clips (20, 21) when in the clips are in the closed position so as to limit deflection of the module connector clips (20, 21) and thus prevent disengagement of the module clips from the module clips of an adjacent flooring module in an array of flooring modules. The sides of the module preferably also include a plurality of levelling clips (41, 42) which define upward and downward facing engagement faces to prevent vertical misalignment of the modules.

    摘要翻译: 用于形成临时接入地板的地板模块(100)包括限定用于接收电缆等的十字形通道结构(3,4)的基座部件(1)。 通道(3,4)具有由底座部件和可拆卸通道盖(2)限定的底板(1A)。 通道盖(2)包括用于覆盖通道结构的一个或多个通道盖部件,使得通道结构和通道盖可以结合以提供用于布线等的封闭通道。 在使用中,盖(2)的移除允许从上方进入通道结构。 基座部件(1)的侧面限定模块连接夹(20,21),用于与相邻模块上的相应模块连接夹相接合以将模块锁定在一起成阵列。 基座部件(1)限定保持结构(13,14),用于接合并将通道盖部件保持在通道结构上。 当夹子处于闭合位置时,通道盖(2)与一个或多个模块连接器夹子(20,21)接合,以限制模块连接器夹子(20,21)的偏转并因此防止 模块从地板模块阵列中的相邻地板模块的模块夹子夹住。 模块的侧面优选地还包括多个调平夹(41,42),所述多个调平夹限定面向上和向下的接合面以防止模块的垂直错位。

    FERTIGUNGSANLAGE ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN AUS HALBLEITER-WAFERN SOWIE WAFFELELEMENT FÜR EINE FERTIGUNGSANLAGE
    10.
    发明公开
    FERTIGUNGSANLAGE ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN AUS HALBLEITER-WAFERN SOWIE WAFFELELEMENT FÜR EINE FERTIGUNGSANLAGE 审中-公开
    制造工厂半导体晶片和WAFFLE元素的集成电路期制造商厂生产

    公开(公告)号:EP3141960A3

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:EP16001979.0

    申请日:2016-09-12

    申请人: M+W Group GmbH

    IPC分类号: G03F7/20 F24F3/16 E04B5/48

    摘要: Die Fertigungsanlage dient zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen auf Halbleiter-Wafern und hat wenigstens einen Strahlungserzeuger, der eine EUV-Strahlung erzeugt. Sie wird wenigstens einer Lithografie-Maschine zur Belichtung der Wafer zugeführt. Die Lithografie-Maschine ist in einem Fabrikationsgebäude (1) untergebracht. Der Strahlungserzeuger befindet sich in einem vom Fabrikationsgebäude (1) getrennten Gebäude (3) oder Gebäudeabschnitt. Die EUV-Strahlung wird über wenigstens eine Strahlführung (9) dem Fabrikationsgebäude (1) zugeführt. Von der Strahlführung (9) zweigt unter einem stumpfen Winkel wenigstens eine Zuleitung (21) ab, über die wenigstens ein Teil der EUV-Strahlung der Lithografie-Maschine (2) zugeführt wird. Das Waffelelement (22) hat wenigstens einen Durchlass (27), der rechteckigen Umriss aufweist und mit einer Mittelebene des Waffelelementes (22), in Draufsicht auf das Waffelelement (22) gesehen, einen spitzen Winkel (α) einschließt. Die Fertigungsanlage sowie das Waffelelement (22) ermöglichen eine kostengünstige und einfache Gestaltung der Zuführung der EUV-Strahlung zur Lithografie-Maschine (2).

    摘要翻译: 用于制造在半导体晶片上的集成电路的处理设施上设置有至少一个辐射发生器确实产生EUV(极远紫外线)辐射率也被提供给至少一个光刻机,安置在一个厂房,对于半导体晶片的曝光。 放射线生成器是在建筑物或建筑物部分从所述厂房分开饲养。 至少一个光束导向从建筑物或建筑物部到厂房,worin EUV辐射从建筑物或通过所述至少一个光束导向到厂房建筑部供给延伸。 在在从工厂建筑物内的所述至少一个光束导引钝角关闭至少一个供电线路分支,worin至少EUV辐射的一部分通过所述至少一个供给管线到光刻机提供。