摘要:
A biological gas detection device (12) acquires (40) a reference output value (MAXR) that is an output value outputted from a semiconductor gas sensor (26) in a reference air sample, the semiconductor gas sensor (26) having sensitivity to an interfering gas and a target gas contained in a biological gas, acquires (42) a target gas concentration that is a concentration of the target gas measured based on a first output value (Rs), the first output value being outputted from the semiconductor gas sensor (26) during measurement of the biological gas, corrects (44) the target gas concentration based on a second output value (Rair) and the reference output value (MAXR), the second output value (Rair) being outputted from the semiconductor gas sensor (26) in an air sample prior to measurement of the biological gas: and outputs (46) information according to the corrected target gas concentration.
摘要:
A smoke detection system (10) comprises at least one smoke detector (12) which is installed in a first partial region (110) of a region (100) to be monitored by means of the smoke detection system (10). The smoke detection system (10) further comprises at least one fluid injection device (14) which is configured to inject a fluid into the region (100) to be monitored by means of the smoke detection system (10) in a direction of at least one smoke detector (12) such that in an emergency case, when smoke (116) is present in a second partial region (112) of the region (100) to be monitored the smoke (116) is transported to the at least one smoke detector (12).
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Probenanalyse. Zur Untersuchung von Substanzen werden Proben entnommen und dem jeweils erforderlichen Analyseverfahren zugeführt. Mehrfachmessungen sind für eine hohe Meßgenauigkeit und eine statistisch abgesicherte Auswertung erforderlich. Die bekannten Meßverfahren weisen folgende Nachteile auf: Einfachmessungen sind lediglich direkt möglich. Wiederholende Messungen, die zeit und arbeitsaufwendig sind, sind nur durch mehrmalige Injektion nach erneuter Probenahme möglich. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und der Vorrichtung ist es nunmehr möglich in kurzer Zeit ohne erneute Probenahme Mehrfachmessungen einer Probe durchzuführen (z.B. 8 Messungen in 2 min). Die Probenmenge kann für den Eintritt in das Analysesystem so reguliert werden, daß die Ergebnisse immer im Meßbereich des Systems liegen.
摘要:
The invention relates to a method for zero point stabilization of an exhaust-gas sensor of a device for converting thermal energy of gaseous fuels. The invention is characterized in that the exhaust-gas sensor is periodically flushed by exhaust-gas and fresh air in an alternating manner.
摘要:
A sampling system for detecting an analyte, comprising a diaphragm pump, a buffer chamber, a sensor head and intake port. The pump includes a chamber for receiving fluids via first and second ports. A buffer chamber is located at the second port for holding a quantity of air, and a sensor head is adapted to identify the presence of a desired analyte and produce a signal in response to the quantity identified. Preferably the diaphragm pump has a volume of gas per stroke capacity slightly larger than the volume of the sensor head such that the pump chamber has a greater volume than the buffer chamber and the buffer chamber has about the same volume as the sensor head. A sensor intake port intakes a sample potentially containing the analyte for contact with the sensor head upon operation of the diaphragm pump and out of the sensor head by jet-action caused by rapid movement of the diaphragm pump. A filter may be used for filtering air drawn through the pump chamber. The diaphragm pump may be either a single chamber pump or a multiple chamber diaphragm mesopump. In the purging mode, the system can also contain a pump for filling the system with cleaned air. When a mesopump is used, a single pumping channel can provide both AC and DC operation.
摘要:
An in-line detector system (200) and method for real-time detection of impurity concentration in a flowing gas stream. In a specific aspect, the system may comprise an in-line monitoring system for determining the calibrated concentration of an impurity species in a flowing gas stream, in a low concentration range below a predetermined concentration value, and in a high concentration range above said predetermined concentration value. A sensor coupling (214) interconnects a purifier (208) with sensing means (412) for monitoring the impurity level of the gas stream. A switcher valve (230) is interposed in a flow loop between the purifier (208) and the sensor (412) for selectively directing purified or unpurified gas from the gas stream to the impurity sensing means. The system may utilize hygrometric sensors in the case of water as a critical impurity, or surface acoustical wave (SAW) devices coated with suitable impurity-affinity coatings. The system has particular utility in monitoring low impurity concentration levels (e.g., from about 0.1 ppm to about 100 ppm) in gas streams employed in vapor-phase processes such as chemical vapor deposition in the manufacture of semiconductor devices.
摘要:
A calibration system includes an air system having a blower unit (10), a flow meter (16) and means (15) for controlling an airflow through a mixing manifold (17) to which a metered amount of a test gas can be added from either a mass flow controller (19) or a syringe drive unit (21).
摘要:
Système de détection en-ligne (100) servant à détecter en temps réel la concentration d'impuretés dans un flux de gaz et selon lequel des volumes purifiés et non-purifiés de gaz provenant du flux de gaz sont soumis à une détection de concentration afin de déterminer une valeur corrigée de concentration d'impuretés pour le flux de gaz. Selon un mode préféré de réalisation, le système utilise un distributeur (222) en communication fluide avec une unité de purification (208), un conduit d'écoulement principal (202) à travers lequel passe le flux de gaz, et un orifice de détection (212). Une soupape à positionnement sélectif (230) amène le gaz à s'écouler à travers une boucle de purification (210, 224) du distributeur vers l'orifice de détection (212) et, alternativement, à travers une boucle de dérivation (226, 228) du distributeur sans que le gaz ne passe à travers l'unité de purification, afin que son niveau d'impureté comparative dans les boucles respectives soit détecté. Le système peut utiliser des détecteurs hygrométriques lorsque l'eau représente l'impureté critique, ou des dispositifs à ondes acoustiques de surface (SAW) recouvertes de revêtements à affinité d'impureté appropriés. Le système est particulièrement utile à la surveillance de faibles niveaux de concentration d'impuretés (par exemple de 0,1 à 100 ppm environ) dans des flux de gaz utilisés dans des procédés à phase gazeuse tels que des procédés de dépôt chimique en phase gazeuse utilisés pour la fabrication de dispositifs à semiconducteurs.
摘要:
Verfahren zur Analyse von gasförmigen oder flüssigen Proben, unter Verwendung eines Einweg-Meßelementes (1) mit einem Meßkanal (18), der mindestens einen optischen oder elektrochemischen Sensor (27a-c) enthält und beidseitig mit Verschlußorganen (21,22) versehen ist. Um auf einfache Weise eine genaue Messung zu erreichen, ist vorgesehen, daß für die Messung zunächst in dem Meßkanal ein Lagermedium durch ein Trennmedium und sodann das Trennmedium durch die Probe ersetzt wird. Probe und Lagermedium verbleiben bei der Entsorgung im Meßelement.
摘要:
Verfahren zur Analyse von gasförmigen oder flüssigen Proben, unter Verwendung eines Einweg-Meßelementes (1) mit einem Meßkanal (18), der mindestens einen optischen oder elektrochemischen Sensor (27a-c) enthält und beidseitig mit Verschlußorganen (21,22) versehen ist. Um auf einfache Weise eine genaue Messung zu erreichen, ist vorgesehen, daß für die Messung zunächst in dem Meßkanal ein Lagermedium durch ein Trennmedium und sodann das Trennmedium durch die Probe ersetzt wird. Probe und Lagermedium verbleiben bei der Entsorgung im Meßelement.