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    Work supplying method and apparatus to batch process apparatus for semiconductor wafer
    2.
    发明公开
    Work supplying method and apparatus to batch process apparatus for semiconductor wafer 失效
    方法和装置用于向Werskstückzufuhr用于半导体晶片的串行处理设备

    公开(公告)号：EP0775952A3

    公开(公告)日：1998-09-16

    申请号：EP96118364

    申请日：1996-11-15

    申请人： NEC CORP

    发明人： TOGASHI YOICHI

    IPC分类号： H01L21/02 ,  G05B15/02 ,  G05B19/418

    CPC分类号： G05B19/4189 ,  G05B19/41835 ,  G05B2219/32077 ,  G05B2219/32078 ,  G05B2219/45027 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/265 ,  Y02P90/28

    摘要： A processing end time calculation section (11) of a batch formation control section (6) refers to a history file (8) in response to a processing start report from a batch process apparatus (1, 1a) to predict a processing end time. A work extraction section (12) refers to a step management file (9) to extract those of the works which can arrive at a batch process apparatus (1, 1a) on or prior to the thus predicted processing end time. A batch formation section (13) forms, designating the thus extracted works as an object of batch formation, the works into a batch such that one of the works which has the highest preferential degree is designated as a top work of the batch. A transport section (4) transports the works of the batch collectively to the batch process apparatus (1, 1a).

    摘要翻译： 一个分批控制部分（6）的处理结束时间计算部（11）响应于来自成批处理装置（1,1A）的处理开始报告，以预测处理结束时间是指一个历史记录文件（8）。 一种作业提取部（12）指的是在一个步骤管理文件（9），以提取这些作品的哪些可以在成批处理装置到达（1,1A）或如此预测处理结束时间之前。 一个分批部分（13）的形式，指定所提取的作品上的分批对象，作品成批量搜索确实具有最高优先级的作品之一，被指定为一批上工作。 的输送部分（4）传输该批次的作品集中到成批处理装置（1,1A）。

    VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ANZEIGE EINES PROZESSBILDELEMENTS AUF EINER GRAFISCHEN BENUTZEROBERFLÄCHE EINES BATCH-SYSTEMS
    3.
    发明公开
    VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ANZEIGE EINES PROZESSBILDELEMENTS AUF EINER GRAFISCHEN BENUTZEROBERFLÄCHE EINES BATCH-SYSTEMS 审中-公开
    方法和装置，用于显示处理图像元素对批处理系统的图形用户界面

    公开(公告)号：EP3062179A1

    公开(公告)日：2016-08-31

    申请号：EP15156217.0

    申请日：2015-02-24

    申请人： Siemens Aktiengesellschaft

    发明人： Roßkopf, Harald

    IPC分类号： G05B19/048

    CPC分类号： G05B19/048 ,  G05B2219/31474 ,  G05B2219/32077 ,  G05B2219/32128

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Automatisierungseinrichtung, wobei auf einer grafischen Benutzeroberfläche eines Batch-Systems (3) Rezeptelemente (20) eines Steuerrezepts (19) dargestellt und die Rezeptelemente (20) während des Chargenprozesses sequentiell verarbeitet werden, und wobei auf einer grafischen Benutzeroberfläche eines Bedien- und Beobachtungs-Systems (2) Bildelemente (14 bis 17, 18) eines Prozessbildes (13) einer Produktions-Anlage dargestellt werden, die zur Herstellung einer Charge eines Produktes während des Chargenprozesses verwendet wird. Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, mittels der ein Rezeptersteller sich ändernde Zustände der Produktions-Anlage während des Chargenprozess schnell erfassen kann.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于操作自动化设备，间歇系统的图形用户界面上的控制配方（19）的（3）配方元件（20）被示出和（20）在批处理过程中处理顺序的配方的元件，并且其中在所述图形 一控制和监视系统（2）的制造工厂的过程图像（13）的图像元素（14到17，18）被示出，其用于一个批次的产品的的在批处理过程中制备的用户界面。 办法提出，通过配方改变创作生产厂的条件可以在批处理过程中快速掌握的手段。

    Method and apparatus to configure an auxiliary recipe for execution during a batch recipe in a process control system
    4.
    发明公开
    Method and apparatus to configure an auxiliary recipe for execution during a batch recipe in a process control system 有权
    一种用于在过程控制系统中的批处理配方期间配置为执行辅助配方的方法和装置

    公开(公告)号：EP2605100A1

    公开(公告)日：2013-06-19

    申请号：EP13158161.3

    申请日：2008-11-11

    申请人： Fisher-Rosemount Systems, Inc.

    发明人： Moore, James Henry Jr. ,  Pettus, Nathan William ,  Irwin, William George ,  Nanda, Tusar

    IPC分类号： G05B19/418

    CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32077 ,  G05B2219/32095 ,  G05B2219/32096 ,  G05B2219/32128 ,  Y02P90/20

    摘要： The present invention discloses an apparatus to configure an auxiliary recipe for execution during a batch recipe in a process control system, the apparatus comprising a recipe analyzer to receive first and second recipes as well as a phase transition identifier to identify a transition point between at least two process steps in the first recipe. The invention further includes a rules compliance verifier to determine whether the second recipe can be executed at the transition point, and an entry point generator to store a recipe entry point in association with the second recipe in response to determining that the second recipe can be executed at the transition point.

    摘要翻译： 本发明光盘上的装置，松散到在过程控制系统中的批处理配方过程中配置到辅助配方用于执行，包括食谱分析器所述装置接收第一和第二的食谱，以及一个相变标识符来标识至少之间的过渡点 在第一个配方两个工艺步骤。 本发明还包括一个规则遵守验证确定性矿无论第二个配方可以在过渡点处被执行，和入口点发生器与第二食谱相关联的食谱入口点存储响应于确定性采矿没有第二个配方可以被执行 在过渡点。

    Methods and apparatus to modify a recipe process flow associated with a process control system during recipe execution
    5.
    发明公开
    Methods and apparatus to modify a recipe process flow associated with a process control system during recipe execution 有权
    用于配方的执行期间改变其涉及一种过程控制系统中的配方处理流程，方法和装置

    公开(公告)号：EP2109022A2

    公开(公告)日：2009-10-14

    申请号：EP08168837.6

    申请日：2008-11-11

    申请人： Fisher-Rosemount Systems, Inc.

    发明人： Moore, James Henry Jr. ,  Pettus, Nathan William ,  Irwin, William George ,  Nanda, Tusar

    IPC分类号： G05B19/418

    CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32077 ,  G05B2219/32095 ,  G05B2219/32096 ,  G05B2219/32128 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20

    摘要： Example methods and apparatus to modify a recipe process flow during recipe execution are disclosed. A disclosed example method involves executing a recipe, and before completion of execution of the recipe, receiving process flow change information indicative of a modification to a process flow of the recipe. Process flow rules are then retrieved from a process flow rules data structure. The recipe process flow is modified based on the process flow change information in response to determining that at least one requested change indicated by the process flow change information does not violate one of the process flow rules.

    摘要翻译： 实施例的方法和装置配方执行期间修改配方处理流程是游离缺失盘。 一种盘游离缺失实施例的方法包括执行一配方，和beforeCompletion中所述配方的执行的，接收指示修改的配方的处理流程的流程变化的信息。 过程流的规则然后从工艺流规则数据结构中检索。 配方流程是基于响应确定性采矿流程变化信息并工艺流程中的变化信息表示至少一个请求的变更不违反的流程规则之一修改。

    Work supplying method and apparatus to batch process apparatus for semiconductor wafer
    7.
    发明公开
    Work supplying method and apparatus to batch process apparatus for semiconductor wafer 失效
    方法和装置用于向Werskstückzufuhr用于半导体晶片的串行处理设备

    公开(公告)号：EP0775952A2

    公开(公告)日：1997-05-28

    申请号：EP96118364.7

    申请日：1996-11-15

    申请人： NEC CORPORATION

    发明人： Togashi, Yoichi

    IPC分类号： G05B19/418

    CPC分类号： G05B19/4189 ,  G05B19/41835 ,  G05B2219/32077 ,  G05B2219/32078 ,  G05B2219/45027 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/265 ,  Y02P90/28

    摘要： A processing end time calculation section (11) of a batch formation control section (6) refers to a history file (8) in response to a processing start report from a batch process apparatus (1, 1a) to predict a processing end time. A work extraction section (12) refers to a step management file (9) to extract those of the works which can arrive at a batch process apparatus (1, 1a) on or prior to the thus predicted processing end time. A batch formation section (13) forms, designating the thus extracted works as an object of batch formation, the works into a batch such that one of the works which has the highest preferential degree is designated as a top work of the batch. A transport section (4) transports the works of the batch collectively to the batch process apparatus (1, 1a).

    SYSTEM AND METHOD FOR BATCH CONTROL PROCESSING
    9.
    发明公开
    SYSTEM AND METHOD FOR BATCH CONTROL PROCESSING 审中-公开
    系统和方法处理费用控制

    公开(公告)号：EP2776961A4

    公开(公告)日：2015-08-12

    申请号：EP12847951

    申请日：2012-11-13

    申请人： ECS SOLUTIONS INC

    发明人： MATHENY TIMOTHY ,  MICHEL PHILLIP ,  OTTO RANDY

    IPC分类号： G06Q10/06 ,  G05B19/418

    CPC分类号： G05B19/4155 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32077 ,  G05B2219/32248 ,  Y02P90/20

    摘要： A system and method for batch control processing includes at least one controller having instructions and database. The database includes information relating to instruments, control modules, and equipment modules and the instructions pull information from the database to control the system and process, a manufacturing facility is provided that manipulates materials to form products. The facility includes a plurality of components that manipulate or measure the material and at least one controller having instructions and at least one database. The database includes information grouping the plurality of components into task oriented groups, referred to as equipment modules. When the facility requires the completion of tasks, the instructions in the controllers pull information from the database regarding which facility components are required to complete the particular task. For each new task request, the instructions pull information from the database regarding which facility components are required to complete the new task.