公开(公告)号：EP4057320B1

公开(公告)日：2024-07-24

申请号：EP20885208.7

申请日：2020-06-11

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/280220130101 ,  H01J2237/2446520130101 ,  H01J2237/2445520130101 ,  H01J2237/22620130101 ,  H01J2237/22320130101

公开(公告)号：EP4423791A2

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP22809097.3

申请日：2022-10-25

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： SCHWARZ, Daniel ,  SCHNELL, Michael ,  AUTH, Nicole

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  H01J37/147

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/22120130101 ,  H01J2237/2447520130101 ,  H01J2237/2449520130101 ,  H01J2237/2446520130101 ,  H01J2237/2459220130101 ,  H01J2237/253820130101 ,  H01J37/29 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/281420130101 ,  H01J2237/280420130101

公开(公告)号：EP4413604A2

公开(公告)日：2024-08-14

申请号：EP22789665.1

申请日：2022-10-07

申请人： The University of Liverpool

发明人： BROWNING, Nigel ,  NICHOLLS, Daniel ,  ROBINSON, Alex ,  WELLS, Jack

IPC分类号： H01J37/26 ,  G06T5/00

CPC分类号： H01J37/265 ,  H01J2237/2446520130101

公开(公告)号：EP4420148A1

公开(公告)日：2024-08-28

申请号：EP22785738.0

申请日：2022-09-22

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： WIELAND, Marco, Jan-Jaco

IPC分类号： H01J37/244

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J2237/03620130101 ,  H01J2237/03820130101 ,  H01J2237/2446520130101 ,  H01J2237/2459220130101 ,  H01J2237/2820130101

公开(公告)号：EP4402710A1

公开(公告)日：2024-07-24

申请号：EP22764650.2

申请日：2022-08-31

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SCHUBERT, Stefan

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/280920130101 ,  H01J2237/2459220130101 ,  H01J2237/281420130101 ,  H01J2237/2446520130101 ,  H01J2237/2449520130101 ,  H01J2237/2457820130101