公开(公告)号：EP3134221B1

公开(公告)日：2024-05-22

申请号：EP15718258.5

申请日：2015-04-10

IPC分类号： B22F1/10 ,  B22F1/17 ,  B22F9/24 ,  C09C1/62 ,  B22F1/052 ,  B22F1/107 ,  H01L23/00

CPC分类号： C09C1/62 ,  C09C1/622 ,  C01P2004/2020130101 ,  C01P2004/3220130101 ,  C01P2004/5120130101 ,  C01P2004/6120130101 ,  C01P2006/1120130101 ,  C01P2006/1220130101 ,  C01P2006/8020130101 ,  H01L2224/838420130101 ,  H01L2224/294920130101 ,  H01L2224/27120130101 ,  H01L2224/293920130101 ,  H01L2224/1349920130101 ,  H01L2224/2943920130101 ,  H01L2224/111120130101 ,  H01L2224/133920130101 ,  H01L24/81 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/113120130101 ,  H01L2224/1131220130101 ,  H01L2224/113220130101 ,  H01L2224/1150520130101 ,  H01L2224/1329420130101 ,  H01L2224/1333920130101 ,  H01L2224/1334420130101 ,  H01L2224/1334720130101 ,  H01L2224/1335520130101 ,  H01L2224/1614520130101 ,  H01L2224/1622720130101 ,  H01L2224/2731220130101 ,  H01L2224/273220130101 ,  H01L2224/2901120130101 ,  H01L2224/2933920130101 ,  H01L2224/2934420130101 ,  H01L2224/2934720130101 ,  H01L2224/2935520130101 ,  H01L2224/2938720130101 ,  H01L2224/2949920130101 ,  H01L2224/3214520130101 ,  H01L2224/3222720130101 ,  H01L2224/8119120130101 ,  H01L2224/8119220130101 ,  H01L2224/8120320130101 ,  H01L2224/812120130101 ,  H01L2224/818420130101 ,  H01L2224/8319120130101 ,  H01L2224/8319220130101 ,  H01L2224/8320320130101 ,  H01L2224/832120130101 ,  H01L2224/9420130101 ,  H01L2224/2743820130101 ,  H01L2224/11120130101 ,  H01L2224/1143820130101 ,  H01L2924/1204120130101 ,  H01L2224/2929420130101 ,  H01L2224/273120130101 ,  H01L2224/271120130101 ,  H01L2224/114420130101 ,  H01L2224/1338720130101 ,  H01L2224/1343920130101 ,  H01L2224/134920130101 ,  H01L2224/274420130101 ,  B22F9/24 ,  H01L24/27 ,  H01L24/29 ,  H01L2224/2750520130101 ,  B22F1/052 ,  B22F1/107 ,  B22F1/17 ,  B22F1/10