公开(公告)号：EP4420157A1

公开(公告)日：2024-08-28

申请号：EP21794814.0

申请日：2021-10-19

申请人： EV Group E. Thallner GmbH

发明人： BURGGRAF, Jürgen

IPC分类号： H01L21/683

CPC分类号： H01L24/95 ,  H01L24/80 ,  H01L24/75 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/6835420130101 ,  H01L2224/7510220130101 ,  H01L2224/8000620130101 ,  H01L2224/8013220130101 ,  H01L2224/9500120130101 ,  H01L2224/9513620130101 ,  H01L2924/146120130101 ,  H01L2924/1204120130101 ,  H01L2224/750120130101 ,  H01L2224/9520130101 ,  H01L24/05 ,  H01L2224/8089620130101 ,  H01L2224/8089520130101 ,  H01L2224/8090520130101 ,  H01L2224/801320130101 ,  H01L2224/800120130101 ,  H01L2224/8020120130101 ,  H01L2224/8094820130101 ,  H01L2224/8000320130101 ,  H01L2224/809120130101 ,  H01L2224/800920130101 ,  H01L2224/759820130101 ,  H01L2224/8048620130101 ,  H01L2224/0568620130101 ,  H01L2224/0564720130101 ,  H01L2224/8044720130101 ,  H01L2224/0822520130101 ,  H01L24/08 ,  H01L2224/0420130101 ,  H01L2221/6832220130101 ,  H01L2221/6836820130101 ,  H01L2221/6838120130101