VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON MIKROSTRUKTUREN
    1.
    发明授权
    VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON MIKROSTRUKTUREN 有权
    器具,用于产生微结构

    公开(公告)号:EP1742762B1

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:EP05732039.2

    申请日:2005-04-13

    申请人: Schott AG

    IPC分类号: B23Q1/58 B23Q1/34 B23Q5/027

    摘要: The invention relates to a device and a method for the production of microstructures, comprising a spindle driven in rotation about a spindle axis, on which a housing for clamping a workpiece is provided, and an actuator (30), which has a rapid drive (36), in particular a piezo-drive for generation of a rapid movement of a tool (32) in a direction essentially perpendicular to the workpiece surface, whereby the actuator (30) may be positioned by means of a further drive (24) for generation of a linear movement in a first direction along a workpiece surface for machining (24). The rapid drive (36) is coupled to the tool (32) by means of a guide device (38) which permits an adjustment of the tool (32) in the axial direction of the rapid drive (36) against a return force and which presents a high rigidity in a plane perpendicular thereto. The applied control technology permits a precise and reproducible production of microstructures using the dynamic system properties.

    Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen
    4.
    发明公开
    Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen 有权
    装置和方法,用于制造微结构

    公开(公告)号:EP1764185A3

    公开(公告)日:2007-05-09

    申请号:EP06026120.3

    申请日:2005-04-13

    申请人: Schott AG

    IPC分类号: B23Q15/007

    摘要: Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen angegeben, mit einer um ihre Spindelachse rotierend antreibbaren Spindel, an der eine Aufnahme zum Einspannen eines Werkstückes vorgesehen ist, mit einem Aktor (30), der einen schnellen Antrieb (36), insbesondere einen Piezoantrieb, zur Erzeugung einer schnellen Bewegung eines Werkzeugs (32) in einer zur Werkstückoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung aufweist, wobei der Aktor (30) mittels eines weiteren Antriebes (24) zur Erzeugung eines linearen Vorschubes in einer ersten Richtung entlang einer zu bearbeitenden Werkstückoberfläche positionierbar ist, wobei der schnelle Antrieb (36) mit dem Werkzeug (32) über eine Führungseinrichtung (38) gekoppelt ist, die eine Zustellung des Werkzeugs (32) in Axialrichtung des schnellen Antriebs (36) entgegen einer Rückstellkraft erlaubt und in einer Ebene senkrecht dazu eine hohe Steifigkeit aufweist. Die angewandte Steuerungstechnik erlaubt unter Ausnutzung der dynamischen Systemeigenschaften eine präzise und reproduzierbare Herstellung von Mikrostrukturen (Figur 2).

    Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen

    公开(公告)号:EP1764185A2

    公开(公告)日:2007-03-21

    申请号:EP06026120.3

    申请日:2005-04-13

    申请人: Schott AG

    IPC分类号: B23Q15/007

    摘要: Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen angegeben, mit einer um ihre Spindelachse rotierend antreibbaren Spindel, an der eine Aufnahme zum Einspannen eines Werkstückes vorgesehen ist, mit einem Aktor (30), der einen schnellen Antrieb (36), insbesondere einen Piezoantrieb, zur Erzeugung einer schnellen Bewegung eines Werkzeugs (32) in einer zur Werkstückoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung aufweist, wobei der Aktor (30) mittels eines weiteren Antriebes (24) zur Erzeugung eines linearen Vorschubes in einer ersten Richtung entlang einer zu bearbeitenden Werkstückoberfläche positionierbar ist, wobei der schnelle Antrieb (36) mit dem Werkzeug (32) über eine Führungseinrichtung (38) gekoppelt ist, die eine Zustellung des Werkzeugs (32) in Axialrichtung des schnellen Antriebs (36) entgegen einer Rückstellkraft erlaubt und in einer Ebene senkrecht dazu eine hohe Steifigkeit aufweist. Die angewandte Steuerungstechnik erlaubt unter Ausnutzung der dynamischen Systemeigenschaften eine präzise und reproduzierbare Herstellung von Mikrostrukturen (Figur 2).

    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON MIKROSTRUKTUREN
    7.
    发明公开
    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON MIKROSTRUKTUREN 有权
    器具,用于产生微结构

    公开(公告)号:EP1742762A1

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:EP05732039.2

    申请日:2005-04-13

    申请人: Schott AG

    IPC分类号: B23Q1/58 B23Q1/34 B23Q5/027

    摘要: The invention relates to a device and a method for the production of microstructures, comprising a spindle driven in rotation about a spindle axis, on which a housing for clamping a workpiece is provided, and an actuator (30), which has a rapid drive (36), in particular a piezo-drive for generation of a rapid movement of a tool (32) in a direction essentially perpendicular to the workpiece surface, whereby the actuator (30) may be positioned by means of a further drive (24) for generation of a linear movement in a first direction along a workpiece surface for machining (24). The rapid drive (36) is coupled to the tool (32) by means of a guide device (38) which permits an adjustment of the tool (32) in the axial direction of the rapid drive (36) against a return force and which presents a high rigidity in a plane perpendicular thereto. The applied control technology permits a precise and reproducible production of microstructures using the dynamic system properties.

    Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen

    公开(公告)号:EP1764183A2

    公开(公告)日:2007-03-21

    申请号:EP06026119.5

    申请日:2005-04-13

    申请人: Schott AG

    IPC分类号: B23Q1/58 B23Q1/34 B23Q5/027

    摘要: Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen angegeben, mit einer um ihre Spindelachse rotierend antreibbaren Spindel, an der eine Aufnahme zum Einspannen eines Werkstückes vorgesehen ist, mit einem Aktor (30), der einen schnellen Antrieb (36), insbesondere einen Piezoantrieb, zur Erzeugung einer schnellen Bewegung eines Werkzeugs (32) in einer zur Werkstückoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung aufweist, wobei der Aktor (30) mittels eines weiteren Antriebes (24) zur Erzeugung eines linearen Vorschubes in einer ersten Richtung entlang einer zu bearbeitenden Werkstückoberfläche positionierbar ist, wobei der schnelle Antrieb (36) mit dem Werkzeug (32) über eine Führungseinrichtung (38) gekoppelt ist, die eine Zustellung des Werkzeugs (32) in Axialrichtung des schnellen Antriebs (36) entgegen einer Rückstellkraft erlaubt und in einer Ebene senkrecht dazu eine hohe Steifigkeit aufweist. Die angewandte Steuerungstechnik erlaubt unter Ausnutzung der dynamischen Systemeigenschaften eine präzise und reproduzierbare Herstellung von Mikrostrukturen (Figur 2).

    摘要翻译: 用于生产微结构的装置具有旋转从动轴(12)和用于夹持工件(16)的保持器。 快速驱动器连接到引导装置上方的工具(32),这允许工具沿着快速驱动装置的轴向方向克服回复力的调节。 驱动器在与驱动方向垂直的平面上具有高刚性。 对于用于移动车床(10)的工具的致动器(30)进行独立的要求,以在工件中产生微结构化表面,特别是使用压电驱动器。