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    MESSSONDE ZUR MESSUNG DER DICKE DÜNNER SCHICHTEN
    2.
    发明公开
    MESSSONDE ZUR MESSUNG DER DICKE DÜNNER SCHICHTEN 审中-公开
    探头进行测量薄层的厚度

    公开(公告)号：EP2989417A1

    公开(公告)日：2016-03-02

    申请号：EP14722612.0

    申请日：2014-04-24

    申请人： Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik.

    发明人： VOLZ, Werner

    IPC分类号： G01B7/06 ,  G01D11/10

    摘要： The invention relates to a measuring probe for measuring the thickness of thin films, comprising a housing (12) and at least one sensor element (14, 15), which is supported resiliently with respect to the housing (12) by means of at least one spring element (33, 37) and has a contacting spherical cap (31) pointing opposite the contacting direction and along the longitudinal axis (38) of the sensor element toward the measurement surface (25) of a measurement object (26), wherein a damping device (17) is provided on the housing (12), which damping device acts in the contacting direction (28) of the at least one sensor element (14, 15) before the sensor element (14, 15) contacts the measurement surface (25) of the measurement object (26) and damps the contacting motion of the at least one sensor element (14, 15) in the direction toward the measurement surface (25) of the measurement object (26).

    Winkelmesseinrichtung
    3.
    发明公开
    Winkelmesseinrichtung 有权

    公开(公告)号：EP2767806A1

    公开(公告)日：2014-08-20

    申请号：EP13193622.1

    申请日：2013-11-20

    申请人： Dr. Johannes Heidenhain GmbH

    发明人： Meyer, Hermann

    IPC分类号： G01D11/10 ,  F16F7/10

    CPC分类号： G01D11/10 ,  F16F15/1421

    摘要： Die Erfindung betrifft eine Winkelmesseinrichtung mit einem Stator (1) und einem Rotor (2), wobei der Rotor (2) relativ zum Stator (1) um eine Achse (A) in Umfangsrichtung (U) drehbar angeordnet ist. Der Rotor (2) weist eine Welle (2.1) auf an der eine Codescheibe (2.2) drehfest befestigt ist. Der Stator (1) weist einen Körper (1.3; 1.3'; 1.3") und eine Abtasteinrichtung (1.2) zur Abtastung der Codescheibe (2.2) auf. Zur Schwingungsdämpfung weist die Winkelmesseinrichtung eine mit dem Körper (1.3; 1.3'; 1.3") verbundene Pendelmasse (1.42; 1.42'; 1.42") auf, welche mit einer Richtungskomponente parallel zur Umfangsrichtung (U) relativ zum Körper (1.3; 1.3'; 1.3") auslenkbar ist.

    摘要翻译： 该装置具有绕圆周方向的轴线相对于定子（1）可旋转地设置的转子（2）。 转子设有轴（2.1），编码盘（2.2）在该轴处具有扭矩抵抗力。 定子包括用于对代码盘进行采样的主体（1.3）和采样单元（1.2）。 一组摆动质量体（即离心力摆锤质量）通过两个杆与主体连接，其中方向分量可平行于圆周方向移动，并且相对于具有摆锤质量的主体。

    TRÄGERMATERIAL MIT EINER MECHANISCHEN FILTEREIGENSCHAFT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES TRÄGERMATERIALS
    4.
    发明公开
    TRÄGERMATERIAL MIT EINER MECHANISCHEN FILTEREIGENSCHAFT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES TRÄGERMATERIALS 审中-公开
    用机械过滤材料和方法后盾，为生产载体材料

    公开(公告)号：EP2524195A2

    公开(公告)日：2012-11-21

    申请号：EP10790391.6

    申请日：2010-12-06

    申请人： Robert Bosch GmbH

    发明人： SCHOBER, Ralf ,  KOC, Mariusz

    IPC分类号： G01D11/10 ,  G01P1/02

    CPC分类号： G01D11/30 ,  G01C19/5783 ,  G01P1/023 ,  Y10T29/49002

    摘要： The invention relates to a carrier material (100, 200) having a mechanical filter property, comprising at least one holding region (104) for mounting the carrier material (102). The carrier material (100, 200) further comprises a sensor region (110) having sensor connecting contacts. The carrier material (100, 200) further comprises a separating region (106) coupled to the at least one holding region (104) and the sensor region (110), said separating region being arranged between the at least one holding region (104) and the sensor region (110). To this end, the carrier material (102) has a different structure in the separating region (106) for forming a mechanical filter property than the carrier material (102) in the holding region (104) and/or in the sensor region (110).

    Verfahren und Messeinrichtung zur Bestimmung mechanischer Messgrössen, insbesondere eines unbekannten Gewichts
    5.
    发明公开
    Verfahren und Messeinrichtung zur Bestimmung mechanischer Messgrössen, insbesondere eines unbekannten Gewichts 失效
    方法以及用于确定机械测量的变量，特别是一个未知的重量测量装置。

    公开(公告)号：EP0403673A1

    公开(公告)日：1990-12-27

    申请号：EP89111216.1

    申请日：1989-06-20

    申请人： ATOMA GESELLSCHAFT FÜR AUTOMATISCHE WAAGEN GMBH

    发明人： Horn, Klaus, Prof. Dr.-Ing.

    IPC分类号： G01G23/10 ,  G01G3/00 ,  G01D11/10

    CPC分类号： G01G23/10 ,  G01D5/2216 ,  G01G3/00

    摘要： Eine Federwaage besteht im wesentlichen aus einer Meßfeder 1, einer Lastschale 2 zum Auflegen eines unbekannten Gewichts 3, einer Kolbensange 4 und einem induktiven Wegaufnehmer 8, welcher ein Meßsignal U m erzeugt. Es sind zwei elektrisch steuerbare Kraftglieder 13, 14 vorgesehen, welche jeweils aus einer stromdurchflossenen Spule 15, 16 und einem gemeinsamen Magnetkern 17, welcher an der Kolbenstange 4 befestigt ist, bestehen. Eine elektronische Steuerungseinheit 18 steuert die Kraftglieder 13, 14 in Abhängigkeit des Meßsignals U m so, daß diese kurzzeitig die bewegten Elemente mit parallel zur Richtung der Verlagerung wirkenden, jedoch von der Verlagerungsgeschwindigkeit nicht proportionalen Brems- bzw. Beschleunigungskräften beaufschlagen. Hierdurch lassen sich sehr wirksam die Einschwingvorgänge aktiv bedämpfen, so daß die neue Gleichgewichtslage in kürzestmöglicher Zeit erreicht wird. Es lassen sich Einstellzeiten von weniger als einem Viertel der Periodendauer des ungedämpften Systems realisieren.

    摘要翻译： 甲弹簧秤besteht本质上测量弹簧1中，对于在其上3未知重量的放置一个负载培养皿2，活塞杆4和上感应位移传感器8哪个基因速率的测量信号庵。 有两种电控的施力构件13，14，其每一个都含有一个活线圈15，16 18所控制的力部件13，14和紧固到活塞杆4的电子控制单元中的共同的磁芯17的作为的函数的 测量信号庵，在寻求一种方式做了简要地论文主题的元素移动到制动或加速力到位移的方向上作用平行的，但不成正比的位移速度。 瞬变现象由此可以非常积极有效地抑制一样，在最短的时间内达到平衡的新位置。 小于非阻尼系统的周期的四分之一的调整时间可以得到。

    Displacement measuring device
    8.
    发明公开
    Displacement measuring device 有权
    Wegmesseinrichtung

    公开(公告)号：EP1795874A3

    公开(公告)日：2014-02-26

    申请号：EP06025124.6

    申请日：2006-12-05

    申请人： Mitutoyo Corporation

    发明人： Kodama, Kazuhiko

    IPC分类号： G01D11/10 ,  G01D5/347 ,  G01D5/244 ,  F16F15/00 ,  F16F7/00

    CPC分类号： G01D5/24442 ,  G01D5/34753 ,  G01D11/10

    摘要： A displacement measuring device for a vibration machine (40) vibrating in a direction other than a measuring direction includes: a scale (50) and a linear motion guide (rail 52) which are fixed to one relative displacement member (48), and a detector (56) which is fixed to a slider (54) of the linear motion guide, and a link (60) which freely rotatably couples the slider (54) and the other relative displacement member (46) . This prevents occurrence of erroneous counting due to vibration in a vibration machine.

    PROZESS-MESSGERÄT
    10.
    发明公开
    PROZESS-MESSGERÄT 有权

    公开(公告)号：EP1554547A2

    公开(公告)日：2005-07-20

    申请号：EP03795801.4

    申请日：2003-10-24

    申请人： Endress + Hauser Flowtec AG

    发明人： DRAHM, Wolfgang ,  RIEDER, Alfred ,  ZEISLMEIER, Helmut ,  FRÖHLICH, Gabriele

    IPC分类号： G01D11/10

    CPC分类号： G01D11/10

    摘要： The process measuring instrument comprises a sensor which may be fitted in the wall of a vessel containing a process medium and an electronics housing, mechanically coupled to the sensor, for the measuring instrument electronics. The electronics housing is at least temporarily subjected to vibrations generated by the sensor during operation, or transmitted by the sensor. In order to reduce the amplitude of oscillations for said vibrations of the electronics housing, at last one vibration damper is fixed to the wall of the electronics housing, which is at least temporarily set in oscillation to dissipate the oscillation energy transmitted to the electronics housing. The noise fraction in the measured signal can be reduced by the suppression of such housing vibrations such that a significant improvement in the signal to noise ratio in the measured signal can be detected.

    摘要翻译： 该过程测量仪器包括传感器，该传感器可以安装在包含过程介质的容器的壁中，以及与传感器机械耦合的用于测量仪器电子器件的电子器件壳体。 电子设备外壳至少暂时受到由传感器在操作过程中产生的振动，或由传感器传送。 为了减小电子装置壳体的所述振动的振荡幅度，最后一个减振器固定在电子装置壳体的壁上，该电子装置壳体至少暂时设定为振荡以消散传递到电子装置壳体的振荡能量。 通过抑制这种外壳振动可以减少测量信号中的噪声分数，从而可以检测到测量信号中信噪比的显着改善。