公开(公告)号：JP2010508448A

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：JP2009535600

申请日：2007-10-26

申请人： エコール ポリテクニックEcole Polytechnique ,  ダウ・コーニング・コーポレイションDow Corning Corporation

发明人： デ ムーレンドル，ティボー ケルヴィン ,  ダイネカ，ドゥミトゥリ ,  デカン，ピエール ,  バルキン，パヴェル ,  リンポール，パトリック ,  アイ カバロカス，ペレ ロカ

IPC分类号： C23C16/511 ,  C23C16/24 ,  H01L21/205 ,  H01L31/04

CPC分类号： C23C16/511 ,  C23C16/24 ,  C23C16/45523 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32678 ,  H01L31/20

摘要： プラズマからの蒸着により基板（１４）上に非晶質材料の膜を形成する方法を開示している。 基板（１４）を容器内に配置し、膜用前駆ガスを各管（２０）を通じて容器内に導入し、容器内を低圧にすべく未反応および解離ガスを容器から各管（２２）を通じて抽出する。 容器内でプラズマを生成するために分散型電子サイクロトロン共鳴（DECR）により容器内のガスに所定の周波数と出力レベルの連続したパルスとしてマイクロ波エネルギーを導入し、プラズマから材料を基板上に蒸着する。 蒸着した材料の厚さにわたってバンドギャップを変化させるべく材料の蒸着中にパルスの周波数および／または出力レベルを変える。
【選択図】図１

公开(公告)号：JP2010508447A

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：JP2009535599

申请日：2007-10-26

申请人： エコール ポリテクニックEcole Polytechnique ,  ダウ・コーニング・コーポレイションDow Corning Corporation

发明人： デ ムーレンドル，ティボー ケルヴィン ,  ダイネカ，ドゥミトゥリ ,  デカン，ピエール ,  バルキン，パヴェル ,  リンポール，パトリック ,  アイ カバロカス，ペレ ロカ

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/511 ,  H01L21/205 ,  H05H1/46

CPC分类号： H01J37/32678 ,  C23C16/24 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/511 ,  C23C16/515 ,  H01J37/32192

摘要： 例えばシリコン等の非晶質または微晶質材料の膜をプラズマから基板上に蒸着する方法を記載している。 マイクロ波エネルギーを一連の不連続マイクロ波パルスとしてチャンバ内へ導入し、膜用前駆ガスを一連の不連続のガスパルスとしてチャンバ内へ導入し、水素原子を生成するガスを少なくとも各マイクロ波パルスの際にチャンバ内へ供給している。 各マイクロ波パルスには前駆ガスパルスが重複しない形で続き、さらに各前駆ガスパルスには、マイクロ波パルスと前駆ガスパルスのいずれも無い期間が続く。
【選択図】図１

公开(公告)号：JP4256783B2

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：JP2003560624

申请日：2003-01-15

申请人： エコール ポリテクニック フェデラル デ ローザンヌ

发明人： ティエモ アンフト ,  フランソワ ヴゥイレ ,  マテュー ドクロス ,  ステファニ ブールキン ,  カルステン プラマン ,  イェレナ ミティック ,  テオ ラッセル

IPC分类号： G02B21/36 ,  G02B26/00 ,  F03D7/02 ,  G02B21/00 ,  G02B21/06

CPC分类号： G02B21/06 ,  G02B21/002 ,  G02B21/367 ,  G02B27/58

公开(公告)号：JP2006503678A

公开(公告)日：2006-02-02

申请号：JP2005501492

申请日：2003-10-22

申请人： エコール ポリテクニック フェデェラル ドゥ ローザンヌ

发明人： クラウス ガンツ ,  ジャック ジャコット ,  ジグフリード ストレスレール ,  ぺーター ライゼル

IPC分类号： A61B5/145 ,  A61B5/00 ,  G01N11/00 ,  G01N11/14 ,  G01N11/16

CPC分类号： G01N11/16 ,  A61B5/0031 ,  A61B5/14532 ,  G01N11/14 ,  G01N2011/147

摘要： 提案されたセンサシステムは、埋め込み可能なセンサ（１'）およびそれに連結されたユーザ装置を具備する。 感受性のある液体はセンサ（１'）に入れられ、その中にグルコースが浸透することができる。 感受性のある液体とグルコースとから構成される混合物の粘度が測定される。 ユーザ装置は、測定およびその評価はユーザ装置を制御し、皮膚の外部に着用された携帯用装置から構成される。 センサ（１'）に配置され同様にセンサ（１'）に配置された駆動磁石（２４）によって駆動されることができる測定要素（３５）の回転に基づいて粘度が測定される。 測定要素（３５）の回転は、駆動磁石（２４）の切断後に減衰ふるまいに基づいて分析される。 第二の好適な実施の形態の場合には、センサに配置され同様にセンサに配置された磁石によって振動するように励起されることができる振動要素の振動ふるまいに基づいて粘度が測定される。 振動ふるまいは、磁石の切断後に振動要素の減衰ふるまいに基づいて分析される。