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公开(公告)号：JP6235162B2
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：JP2016556096
申请日：2014-10-29
申请人： 東芝三菱電機産業システム株式会社
IPC分类号： C01B13/11
CPC分类号： C01B13/11 , B01J35/02 , C23C4/11 , C01B2201/10 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/62 , C01B2201/76
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公开(公告)号：JP6200740B2
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：JP2013196385
申请日：2013-09-24
申请人： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
发明人： ロナルド・スコット・バンカー
CPC分类号： C23C4/005 , B05D3/00 , B05D7/22 , C23C4/01 , C23C4/073 , C23C4/11 , C23C4/129 , F01D5/18 , F01D5/187 , F01D5/28 , F01D5/288 , B05D3/042 , F05D2230/31 , F05D2260/204 , Y02T50/672 , Y02T50/676
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公开(公告)号：JP2017150085A
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：JP2017067972
申请日：2017-03-30
申请人： 東京エレクトロン株式会社 , トーカロ株式会社
摘要： 【課題】フッ化イットリウム製の溶射皮膜からのパーティクルの発生を抑制する方法の提供。 【解決手段】プラズマ処理装置内においてプラズマに晒される部品100。部品100は、基材102、及び皮膜MLを有しており、基材102は、例えば、アルミニウム製、又は、アルミニウム合金製であり、基材102の表面にはアルマイト膜106が形成されていてもよく、皮膜MLは、基材102又は該基材上に設けられた層106、108を含む下地の表面上にフッ化イットリウムの溶射によって形成されており部品100の皮膜ML内の気孔率は4%以下であり、皮膜MLの表面の算術平均粗さ(Ra)は4.5μm以下である部品100を製造する方法。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JPWO2016035618A1
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：JP2016546571
申请日：2015-08-25
申请人： 三菱日立パワーシステムズ株式会社
发明人： 鳥越 泰治 , 泰治 鳥越 , 一郎 永野 , 一郎 永野 , 芳史 岡嶋 , 芳史 岡嶋 , 岡田 郁生 , 郁生 岡田 , 妻鹿 雅彦 , 雅彦 妻鹿 , 上村 好古 , 好古 上村 , 尚俊 岡矢 , 尚俊 岡矢 , 秀祐 佐久間 , 秀祐 佐久間
CPC分类号： C04B35/488 , B05B7/22 , B05B7/228 , B22F9/00 , C04B35/6261 , C04B35/62655 , C04B35/6303 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3246 , C04B2235/95 , C09D1/00 , C09D5/031 , C09D5/036 , C23C2/003 , C23C4/073 , C23C4/11 , C23C28/3215 , C23C28/3455 , F01D5/288 , F01D9/02 , F05D2220/32 , F05D2230/31 , F05D2240/35 , F05D2300/21 , F05D2300/2118
摘要： 溶射用粉末の製造方法は、第1添加剤を含むジルコニア系セラミックスにより構成される第1粒子、及び、第2添加剤を含むジルコニア系セラミックスにより構成される第2粒子を含み、0μm超10μm以下の10%積算粒径を有する混合粉末を用意する準備工程S1と、相互に焼結された前記第1粒子及び前記第2粒子をそれぞれ含む複数の2次粒子を作製する2次粒子作製工程S2とを備える。
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公开(公告)号：JP2017515001A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：JP2017511544
申请日：2015-05-06
申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人： ジェニファー ワイ サン , ジェニファー ワイ サン , ビラジャ ピー カヌンゴ , ビラジャ ピー カヌンゴ , イーカイ チェン , イーカイ チェン , バヒド フィロウズドア , バヒド フィロウズドア
IPC分类号： C23C4/11 , C23C4/134 , C23C4/18 , H01L21/3065
CPC分类号： C04B35/10 , C04B35/16 , C04B35/44 , C04B35/486 , C04B35/4885 , C04B35/50 , C04B35/505 , C04B35/5156 , C04B2235/3217 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3244 , C04B2235/3418 , C23C4/02 , C23C4/04 , C23C4/11 , C23C4/18 , C23C24/103 , C23C28/042 , Y10T428/24372
摘要： 超高密度かつ超平滑なセラミックスコーティングを製造するための方法が、本明細書中に開示される。本方法は、プラズマ溶射装置の中にセラミックス粒子のスラリーを供給する工程を含む。プラズマ溶射装置は、基板に向かう粒子の流れを生成し、接触した際に、基板上にセラミックスコーティングを形成する。
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公开(公告)号：JP2017100938A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：JP2016244991
申请日：2016-12-19
发明人： サン ジェニファー ワイ , カヌンゴ ビラジャ ピー , チョー トム
CPC分类号： H01J37/32495 , C04B41/009 , C04B41/5045 , C04B41/87 , C23C16/4404 , C23C4/11 , C23C4/134 , Y10T428/131 , Y10T428/26
摘要： 【課題】セラミックスコーティングでコーティングされる本体を含む物品の製造方法の提供。 【解決手段】本体は、セラミック又はアルミニウム、銅、マグネシウムのうち少なくとも1つを含み、セラミックコーティングは、約45〜約99モル%の範囲内のY 2 O 3 と、約0〜約55モル%の範囲内のZrO 2 と、約0〜約10モル%の範囲内のAl 2 O 3 を含み、又、セラミックコーティングは、代替的に、約30〜約60モル%の範囲内のY 2 O 3 と、約0〜約20モル%の範囲内のZrO 2 と、約30〜約60モル%の範囲内のAl 2 O 3 を含み、本体の少なくとも1つの表面をコーティングする工程210を含む物品の製造方法。コーティングは約5〜約25ミルの厚さを有し、本体の少なくとも1つの表面をプラズマ溶射によりセラミックスコーティングを行う工程を、含む、方法。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2017082325A
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：JP2016203613
申请日：2016-10-17
申请人： 信越化学工業株式会社 , Shin Etsu Chem Co Ltd
发明人： TAKAI YASUSHI , HAMAYA NORIAKI
IPC分类号： C23C4/10 , C01F17/00 , C23C4/134 , H01L21/3065
CPC分类号： C23C4/11 , C09D1/00 , C09D7/69 , C23C4/134 , H01J37/32495 , H01L21/67069
摘要： 【解決手段】Y5O4F7とYF3とを含み、Y5O4F7とYF3とが、Y5O4F7が30〜90質量%、残分がYF3であり、平均粒径が10μm以上60μm以下で、嵩密度が1.2g/cm3以上2.5g/cm3以下であるフッ化イットリウム溶射材料、及び基材にYOF、Y5O4F7及びY7O6F9から選ばれる少なくとも1種のオキシフッ化イットリウムを含む溶射膜が積層されてなるオキシフッ化イットリウム成膜部品。【効果】本発明のフッ化イットリウム溶射材料は、大気中プラズマ溶射したとき、オキシフッ化イットリウム溶射膜を得ることができる。【選択図】なし
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公开(公告)号：JPWO2015151857A1
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：JP2016511538
申请日：2015-03-20
申请人： 株式会社東芝 , 東芝マテリアル株式会社
摘要： 本発明の一つの実施形態は、プラズマ部品の酸化物被膜は、0.05〜3μmの微小粒子同士が部品基材表面にて焼結結合して多結晶粒子となりその集合体として形成される酸化物堆積被膜であり、膜厚が10μm以上200μm以下であり、膜密度が90%以上であることを特徴とする耐プラズマ部品及び耐プラズマ部品の製造方法である。上記構成によれば、被膜からのパーティクルの発生を安定かつ有効に抑制し、さらに再生処理で腐食や変形等のダメージを受けにくい耐プラズマ部品及び耐プラズマ部品の製造方法が得られる。
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公开(公告)号：JPWO2014142019A1
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2015505438
申请日：2014-03-07
申请人： 株式会社フジミインコーポレーテッド
IPC分类号： C23C4/10 , C04B41/87 , C23C4/12 , H01L21/3065
CPC分类号： C04B35/62222 , C04B35/626 , C04B35/628 , C04B35/62892 , C04B35/66 , C04B2235/3217 , C04B2235/3246 , C23C4/11 , C23C4/12 , C23C4/134
摘要： 本発明の溶射用粉末は、1μm以上20μm以下の平均粒子径を有するセラミック粒子を含有する。パウダーレオメータを用いて測定されるセラミック粒子の流動性指標値FFは3以上である。流動性指標値FFは、常温常湿下でセラミック粒子に9kPaの剪断力を与えたときのセラミック粒子の最大主応力及び単軸崩壊応力を測定し、最大主応力の測定値を単軸崩壊応力の測定値で除することにより求められる。
摘要翻译： 本发明的热喷涂粉末中含有为1μm或20微米或更小的平均粒径的陶瓷颗粒。 流动性指数值FF陶瓷粒子是使用粉末流变仪测量为3以上。 定的剪切时的流动性指数值FF测量陶瓷颗粒的最大主应力和单轴崩坏应力9kPa正常温度和正常湿度下的陶瓷颗粒，的最大主应力单轴崩坏应力测量 它是通过将所测量的值来确定。
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