中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

8856 records (took 0.084 seconds)

    ポンプおよびシールシステム
    145.
    发明专利
    ポンプおよびシールシステム 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2019021958A1

    公开(公告)日：2020-07-30

    申请号：JP2018027267

    申请日：2018-07-20

    Applicant: 株式会社荏原製作所

    Inventor： 吉川 成 ,  早川 淳一

    IPC: F04D29/12 ,  F04D29/58 ,  F16J15/34 ,  F04D29/10

    Abstract: ポンプは、回転軸(1)と、回転軸(1)に固定された羽根車(3)と、羽根車(3)を収容するケーシング(2)と、ダブルメカニカルシール(20)と、ダブルメカニカルシール(20)を収容するシール室(25)と、オイルを貯留するオイル貯留部(30)と、オイル貯留部(30)とシール室(25)とを連通させるオイル供給ライン(26)と、オイル貯留部(30)から供給されるオイルを加圧してシール室(25)に移送する第1オイルポンプ(31)と、第1オイルポンプ(31)と並列に配置された第2オイルポンプ(42)と、シール室(25)に接続されたオイル出口ライン(27)と、シール室(25)内のオイルの圧力を保持する圧力保持機構とを備える。

    窒素酸化物を含むガスの処理装置、および処理方法
    146.
    发明专利
    窒素酸化物を含むガスの処理装置、および処理方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020110753A

    公开(公告)日：2020-07-27

    申请号：JP2019001969

    申请日：2019-01-09

    Applicant: 株式会社荏原製作所

    Inventor： 松本 孝平 ,  森 洋一

    IPC: F01N3/08 ,  F01N3/24 ,  B01D53/82 ,  B01D53/86 ,  C01B13/10 ,  C01B39/02 ,  B01D53/56

    Abstract: 【課題】比較的低コストで窒素酸化物を処理することが可能な処理装置を提供する。 【解決手段】本発明の処理装置100は、合成ゼオライトが充填される処理槽8と、処理槽8の入口に連結され、窒素酸化物を含むガスを処理槽8に導入する入口ライン5と、入口ライン5に連結されるオゾン発生器1と、を備える。オゾン発生器1は、ガスに含まれる一酸化窒素を二酸化窒素に酸化させるのに十分な量のオゾンを発生させ、合成ゼオライトは、一酸化窒素の酸化反応で消費されなかった余剰オゾンを分解し、かつガスに含まれる二酸化窒素を物理吸着する。 【選択図】図2

    研磨レシピ決定装置
    149.
    发明专利
    研磨レシピ決定装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020107784A

    公开(公告)日：2020-07-09

    申请号：JP2018246913

    申请日：2018-12-28

    Applicant: 株式会社荏原製作所

    Inventor： 加藤 良和 ,  福島 誠 ,  並木 計介 ,  富樫 真吾

    IPC: B24B37/005 ,  H01L21/304

    Abstract: 【課題】研磨レシピの決定を高精度化、効率化できる情報処理装置を提供する。 【解決手段】情報処理装置は、研磨ヘッドのエリア毎に圧力を変化させて取得されるエリア毎の応答データに基づいて研磨レシピを決定する情報処理装置であって、新たなエリア毎の応答データを入力として、異常があるか否かを推定して出力する異常有無推定部と、異常有無推定部により異常ありと推定された場合には、異常ありと推定されたエリア毎の応答データを入力として、異常除去後のエリア毎の応答データを推定して出力するスクリーニング部と、異常有無推定部により異常なしと推定されたエリア毎の応答データ、またはスクリーニング部により推定された異常除去後のエリア毎の応答に基づいて、シミュレーションにより研磨レシピを決定するシミュレーション部と、を備える。 【選択図】 図6

Patent Agency Ranking