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公开(公告)号:JP3999865B2
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:JP510598
申请日:1998-01-13
Applicant: エア・ウォーター株式会社
IPC: F25J3/02
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公开(公告)号:JP3732774B2
公开(公告)日:2006-01-11
申请号:JP2001340672
申请日:2001-11-06
Applicant: エア・ウォーター株式会社
CPC classification number: F25J3/04793 , F25J3/04254 , F25J3/0443 , F25J3/04769 , F25J2210/42 , F25J2215/02 , F25J2215/40 , F25J2245/42 , F25J2245/50
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公开(公告)号:JP3704491B2
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:JP2001307915
申请日:2001-10-03
Applicant: エア・ウォーター株式会社
IPC: F16K11/076 , F25B9/00 , F25B9/14
CPC classification number: F25B9/145 , F25B2309/1414 , F25B2309/1418 , F25B2309/14181 , F25B2309/1424
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公开(公告)号:JP3668703B2
公开(公告)日:2005-07-06
申请号:JP2001163733
申请日:2001-05-31
Applicant: エア・ウォーター株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L21/205 , H01L21/26
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公开(公告)号:JP3609009B2
公开(公告)日:2005-01-12
申请号:JP2000206256
申请日:2000-07-07
Applicant: エア・ウォーター株式会社
CPC classification number: F25B9/145 , F25B2309/1406 , F25B2309/1418 , F25B2309/1419 , F25J3/04254 , F25J3/0426 , F25J3/04278 , F25J3/044 , F25J2200/72 , F25J2270/91 , F25J2290/62
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公开(公告)号:JPWO2003001127A1
公开(公告)日:2004-10-14
申请号:JP2003507481
申请日:2002-06-20
Applicant: エア・ウォーター株式会社
CPC classification number: F25B9/145 , F25B9/14 , F25B2309/002 , F25B2309/1408 , F25B2309/1412 , F25B2309/1418 , F25B2309/1424 , F25D19/006
Abstract: 被冷却対象の冷却および昇温が高速化できる蓄冷型冷凍機を提供することができる。具体的な構成は、圧縮機4a並びに高圧切換弁4bおよび低圧切替弁4cからなる圧力制御手段4と、室温端部1aと低温端部1bとを有する膨張圧縮部1と、室温端部2aと低温端部2bとを有する蓄冷部2を備えて被冷却対象に熱伝達する蓄冷型冷凍機であって、膨張圧縮部の低温端部1bと蓄冷部の低温端部2bとを連結し、かつ被冷却対象7まで延長した作動ガスの流動経路8を設けた蓄熱型冷凍機である。これにより、冷凍機の稼働率を大幅に向上させることが可能になり、センサー類や半導体製造装置の用途として広く適用することができる。
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公开(公告)号:JP3488695B2
公开(公告)日:2004-01-19
申请号:JP2001034096
申请日:2001-02-09
Applicant: エア・ウォーター株式会社 , 株式会社神戸製鋼所
IPC: F25J3/04
CPC classification number: F25J3/044 , F25J3/04193 , F25J3/04218 , F25J3/04254 , F25J3/0486 , F25J2200/72 , F25J2210/42 , F25J2250/20 , F25J2250/40 , F25J2250/52
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公开(公告)号:JP4148512B2
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:JP2003173618
申请日:2003-06-18
Applicant: エア・ウォーター株式会社
CPC classification number: F25J3/04254 , F25J3/04278 , F25J3/04333 , F25J3/04351 , F25J3/04424 , F25J3/04454 , F25J2210/42 , F25J2240/12 , F25J2245/42 , F25J2270/91
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