公开(公告)号：JP3947266B2

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：JP10049897

申请日：1997-04-17

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 明 吉野 ,  篤 宮本 ,  英樹 宮本 ,  洋実 木山 ,  純也 末長

IPC: C01B3/38

公开(公告)号：JP3755622B2

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：JP9682497

申请日：1997-04-15

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 信之 大八木 ,  貴彦 安田 ,  武治 嶋本 ,  洋実 木山

IPC: B01D53/04

公开(公告)号：JP3723332B2

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：JP25096797

申请日：1997-09-16

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 賢一 井上 ,  洋実 木山 ,  敬志 横山 ,  徹也 濱口

IPC: B01D53/34 ,  B01D53/54 ,  B01D53/68 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：JP3669911B2

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：JP2000284049

申请日：2000-09-19

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 晋吾 國谷 ,  洋実 木山

IPC: F17C3/04 ,  F17C13/00 ,  F25B9/00 ,  F25D3/10

CPC classification number: F25B9/145 ,  F25B2309/1408 ,  F25B2309/1412 ,  F25B2400/17

公开(公告)号：JP3597990B2

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：JP14133698

申请日：1998-05-22

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  三菱電機株式会社

Inventor： 匠 中畑 ,  泰助 古川 ,  和馬 山本 ,  高一 斧 ,  洋実 木山 ,  徹 稲垣

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455

公开(公告)号：JP4812986B2

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：JP2001253166

申请日：2001-08-23

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 大輔 三条 ,  秀彦 奥 ,  洋実 木山 ,  敬志 横山

IPC: B08B7/00 ,  B01J13/00 ,  B05B7/04 ,  C01B32/55 ,  C09K3/30 ,  H01L21/304

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing dry ice aerosol, by which high hardness dry ice particles of a micrometer order or lower can be produced, which has no possibility of inclusi on of impurities, and is suitable for cleaning the surface of a semiconductor wafer or the like. SOLUTION: A liquefied carbon dioxide gas is evacuated so as to be a gas- liquid mixed state, and is thereafter jetted to the inside of a nozzle 3. Further, gaseous nitrogen is jetted to the inside of the nozzle 3 at a high speed, and the liquefied carbon dioxide gas and carbon dioxide gas in a gas-liquid mixed state are cooled by the cold of the gaseous nitrogen to produce aerosol with the gaseous nitrogen as a dispersion medium and dry ice particles as a dispersion phase. Further, the aerosol is jetted from the nozzle 3 by the jet flow of the gaseous nitrogen.

公开(公告)号：JP4782467B2

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：JP2005132480

申请日：2005-04-28

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 明 吉野 ,  樹 山内 ,  洋実 木山

IPC: F17C3/08 ,  B23K9/00 ,  B23K9/23 ,  B23K101/12 ,  B65D88/06

公开(公告)号：JP3786759B2

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：JP17065597

申请日：1997-06-26

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 明 吉野 ,  篤 宮本 ,  洋実 木山 ,  延尚 菊地

IPC: F02C3/20 ,  C01B3/36 ,  F02C3/30 ,  F02C6/00

公开(公告)号：JP3488600B2

公开(公告)日：2004-01-19

申请号：JP20175097

申请日：1997-07-28

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  株式会社神戸製鋼所

Inventor： 英樹 宮本 ,  重美 岡本 ,  洋実 木山 ,  幸夫 渡辺 ,  正幸 田中 ,  稔弘 若井 ,  延尚 菊地 ,  正明 赤松

IPC: F25J3/04

CPC classification number: F25J3/04224 ,  F25J3/0426 ,  F25J3/04351 ,  F25J3/04412

公开(公告)号：JP3369424B2

公开(公告)日：2003-01-20

申请号：JP1615497

申请日：1997-01-30

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 信之 大八木 ,  貴彦 安田 ,  武治 嶋本 ,  洋実 木山

IPC: B01D53/04