公开(公告)号：JP2015050126A

公开(公告)日：2015-03-16

申请号：JP2013182586

申请日：2013-09-03

Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス ,  Hitachi High-Tech Science Corp

Inventor： MITSU KIN ,  ASAHATA TATSUYA ,  UEMOTO ATSUSHI

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N1/32 ,  G01N23/20091 ,  G01N23/2202 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2811 ,  H01J2237/31749

Abstract: 【課題】微小な観察対象の複数の断面像を高分解能に、かつ短時間で得ることが可能な断面加工観察方法、断面加工観察装置を提供する。【解決手段】予め設定した特定観察対象物を検出すると、断面露出工程の条件および断面像取得工程の条件を、それぞれ更新する。例えば、スライス加工のスライス間隔を狭める。また、特定観察対象物を含む微小領域を設定して、断面全体とこの微小領域だけ高倍率で観察をそれぞれ行う。これによって、特定観察対象物を含む高精度な三次元像を短時間に構築することが可能になる。【選択図】図10

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够在短时间内以高分辨率获得显微观察对象的多个横截面图像的截面处理观察方法和横截面处理观察装置。解决方案：当检测到预设的具体 观察对象，横截面曝光步骤的条件和截面图像获取步骤的条件分别被更新。 例如，切片的切片间隔变窄。 此外，设置包括特定观察对象的微区域，并且仅分别以高放大率观察整个横截面和微区域。 因此，可以在短时间内构建包括特定观察对象的高精度三维图像。

公开(公告)号：JP2014192090A

公开(公告)日：2014-10-06

申请号：JP2013068169

申请日：2013-03-28

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： UEMOTO ATSUSHI ,  MITSU KIN ,  ASAHATA TATSUYA

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N23/2255 ,  G01N2223/045 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2807

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a focused ion beam apparatus capable of acquiring a region showing specific composition inside a sample in a short time.SOLUTION: A focused ion beam apparatus 100 includes: a focused ion beam irradiation mechanism 20 for forming a first cross section 2s and a plurality of second cross sections 2c1 to 2c4 in a sample 2; first image generation means 90A for generating reflection electron images or secondary electron images of the first cross section and second cross sections as first images Gs, and G1 to G4; second image generation means 90B for generating EDS images or secondary ion images of the first cross section and second cross section as second images Hs and H4; and a control unit 90 for causing the second image generation means to generate the second image of the second cross section, when the first image of the second cross section includes a region differing from a region N showing specific composition in the first image of the first cross section in the case of acquiring the first and second images of the first cross section and the first image of the second cross section.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够在短时间内获取样品内部特定组成的区域的聚焦离子束装置。解决方案：聚焦离子束装置100包括：聚焦离子束照射机构20，用于形成第一十字 部分2s和样品2中的多个第二横截面2c1至2c4; 用于产生第一横截面和第二横截面的反射电子图像或二次电子图像的第一图像产生装置90A作为第一图像Gs和G1至G4; 用于产生第一横截面的EDS图像或二次离子图像的第二图像生成装置90B和第二图像Hs和H4; 以及控制单元90，用于使第二图像产生装置产生第二横截面的第二图像，当第二横截面的第一图像包括与示出第一图像的第一图像中的具体组成的区域N不同的区域时 在获取第一横截面的第一和第二图像和第二横截面的第一图像的情况下的横截面。

公开(公告)号：JP2013200986A

公开(公告)日：2013-10-03

申请号：JP2012068016

申请日：2012-03-23

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： ASAHATA TATSUYA ,  SUGIYAMA YASUHIKO ,  OBA HIROSHI

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/10 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/04924 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To smoothly change a beam without generating electric discharge in an ion beam optical system.SOLUTION: An ion beam device includes an ion source 101 discharging an ion beam 9, a condenser lens electrode 102, a storage section 13 storing a set voltage value of a lens corresponding to an irradiation mode, and a control section 16 which reads out the set voltage value appropriately corresponding to the next previous irradiation mode and sets the voltage value to a lens power source.

Abstract translation: 要解决的问题：在离子束光学系统中平滑地改变光束而不产生放电。解决方案：离子束装置包括离子源101，离子束9，聚光透镜电极102，存储部分13 设置与照射模式相对应的透镜的电压值;以及控制部16，其读取与下一次照射模式适当对应的设定电压值，并将电压值设定为透镜电源。

公开(公告)号：JP2013065511A

公开(公告)日：2013-04-11

申请号：JP2011204507

申请日：2011-09-20

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： UEMOTO ATSUSHI ,  YAMAMOTO HIROSHI ,  ASAHATA TATSUYA

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/261 ,  G01N1/32 ,  G01N23/2208 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/0816 ,  G01N2223/102 ,  G01N2223/105 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve operability of sample stage movement in a device having two charged particle beam lens barrels arranged orthogonal to each other.SOLUTION: A composite charged particle beam device is used which includes: a focused ion beam lens barrel 4; an electron beam lens barrel 5 orthogonal to the focused ion beam lens barrel 4; a sample stage 2 which moves a sample 11; an optical microscope 14 which observes the sample 11; display parts 9, 10 capable of displaying a focused ion beam image, an electron beam image, and an optical microscope image; and a stage control part 3 which moves the sample stage 2 in accordance with a coordinate system of each image.

Abstract translation: 要解决的问题：为了实现具有彼此正交布置的两个带电粒子束透镜筒的装置中的样品台运动的可操作性。 解决方案：使用复合带电粒子束装置，其包括：聚焦离子束透镜镜筒4; 与聚焦离子束透镜镜筒4正交的电子束透镜镜筒5; 移动样品11的样品台2; 观察样品11的光学显微镜14; 能够显示聚焦离子束图像的显示部分9,10，电子束图像和光学显微镜图像; 以及舞台控制部3，其根据各图像的坐标系移动样本台2。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT