公开(公告)号：JP2021528819A

公开(公告)日：2021-10-21

申请号：JP2020571464

申请日：2019-06-18

Applicant: カール ツァイス マルチセム ゲーエムベーハー

Inventor： ダーク ツァイトラ- ,  ハンス フリッツ ,  インゴ ミューラー ,  シュテファン シューベルト ,  アルネ トーマ ,  アンドラーシュ マイヨール

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/14 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147

Abstract: 粒子ビームシステム1は、複数の粒子ビーム5を生成するように構成されるマルチビーム粒子源と、物体面29を像面7に粒子光学的に結像し、且つ像面上に複数の粒子ビームを導くように構成される結像光学ユニット35と、物体面29の近くの領域内で調節可能な強度の偏向電場及び/又は磁場を生成するように構成される場生成機構41であって、粒子ビームは、偏向場の強度に依存する偏角を通して偏向場によって動作中に偏向される、場生成機構41とを含む。

公开(公告)号：JP2021168286A

公开(公告)日：2021-10-21

申请号：JP2020071726

申请日：2020-04-13

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 井上 和彦 ,  白土 昌孝 ,  小笠原 宗博

IPC: H01L21/027 ,  H01J37/244 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 【目的】マルチビームに作用するクーロン効果を低減することが可能な照射装置を提供する。 【構成】本発明の一態様のマルチ電子ビーム照射装置は、マルチ荷電粒子ビームを形成する成形アパーチャアレイ基板203と、マルチ荷電粒子ビームの各ビームの中心軸軌道がマルチ荷電粒子ビームの軌道中心軸方向に直交する同一面内で集束しないように、軌道中心軸方向に直交する同一面内で集束しないように、マルチ電子ビームの各ビームを個別に偏向する多極子偏向器アレイ220と、マルチ電子ビームが集束されないままの状態で、マルチ電子ビームで基板を照射する1次電子光学系151と、を備えたことを特徴とする。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021527828A

公开(公告)日：2021-10-14

申请号：JP2020571476

申请日：2019-06-18

Applicant: フリューダイム カナダ インコーポレイテッド ,  コーカム,ポール

Inventor： コーカム,ポール ,  ロボダ,アレクサンダー

IPC: H01J49/02 ,  H01J49/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J49/26 ,  H01J49/16 ,  G02B21/06 ,  G01N27/62

Abstract: 本発明は、イメージング質量分析(IMS)を使用する試料の高解像度イメージング、およびIMSによって標識原子が検出される、イメージングマスサイトメトリー(IMC(商標))による生体試料のイメージングに関する。LA‐ICP‐MS(試料がレーザによってアブレーションされ、アブレーションされた材料が誘導結合プラズマ内でイオン化されてから質量分析によってイオンが検出されるIMSの形態)は、地質試料の鉱物分析、考古学試料の分析、および生体物質のイメージングなど、様々な物質の分析に使用されている。しかし、従来のLA−ICP−MSシステムおよび方法は、高解像度を提供しない場合がある。本明細書には、高解像度のIMSおよびIMCのための方法およびシステムが記載される。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021165661A

公开(公告)日：2021-10-14

申请号：JP2020068595

申请日：2020-04-06

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 小川 力 ,  平野 亮一 ,  杉原 真児 ,  井上 広

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/29 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66 ,  G01N23/2251

Abstract: 【目的】ビーム毎のセンサに他のビームの2次電子が混入する、いわゆるクロストークが発生する場合でも高精度に検査可能な検査装置を提供する。 【構成】本発明の一態様の検査装置100は、パターンが形成された試料にマルチ1次電子ビームを照射して、マルチ1次電子ビームが前記試料に照射されたことに起因して放出されるマルチ2次電子ビームを検出し、クロストーク成分が含まれた2次電子画像を取得する2次電子画像取得機構150と、2次電子画像からクロストーク成分を除去するための予め設定されたゲイン情報を用いて、2次電子画像から前記クロストーク成分を除去した補正2次電子画像を生成する補正回路132と、補正2次電子画像と所定の画像とを比較する比較回路108と、を備えたことを特徴とする。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021163754A

公开(公告)日：2021-10-11

申请号：JP2021054616

申请日：2021-03-29

Applicant: エフ イー アイ カンパニ ,  FEI COMPANY

Inventor： アレクサンダー ヘンストラ ,  ユチェン デン ,  ホルガー コール ,  アリ モハンマディ−ゲイダーリ

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/28 ,  H01J37/21

Abstract: 【課題】調査能力を向上させるデュアルビーム二焦点荷電粒子顕微鏡をを提供する。 【解決手段】デュアルビーム二焦点荷電粒子顕微鏡102を使用してサンプル104を調査するためのシステム100は、サンプル104に向けて複数の荷電粒子134を放出することと、複数の荷電粒子134を第1の荷電粒子ビーム114および第2の荷電粒子ビーム116に形成することと、第1の荷電粒子ビーム114および第2の荷電粒子ビーム116のうちの少なくとも一方の焦点特性を修正することと、を含む。第1の荷電粒子ビーム114と第2の荷電粒子ビーム116との対応する焦点面が異なるように、第1の荷電粒子ビーム114および第2の荷電粒子ビーム116のうちの少なくとも一方の焦点特性が、修正される。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021526288A

公开(公告)日：2021-09-30

申请号：JP2020564343

申请日：2019-03-27

Applicant: フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

Inventor： メラー・ゼーレン ,  ヘーシェン・ダニエル ,  クルト・ジーナ ,  ヒラー・アルベルト・マルティン ,  ショルティージク・クリスティアン ,  エサー・ゲルヴィン ,  リンスマイアー・クリスティアン

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/18

Abstract: 本発明は、試料をMeV規模によりイオンビーム分析する装置に関し、この装置は、少なくとも一つの検出器及びカメラを備えた真空測定室と、この真空測定室内に真空を発生させる真空システムと、イオンビームチューブ及びイオンビームを集束させる集束システムと、少なくとも一つの試料を受け入れる試料保持部を有する試料マニュピレータを備えた試料運搬システムとを有する。この装置は、本発明に基づき、更に、イオンビームチューブを測定室と真空密閉形態により接続するための入力結合システムを有し、この入力結合システムが、イオンビーム真空フィードスルー、検出器を受け入れる手段、カメラを受け入れる手段及び試料運搬システムを受け入れる手段を備えている。

公开(公告)号：JP2021525945A

公开(公告)日：2021-09-27

申请号：JP2020566621

申请日：2019-05-31

Applicant: ルクセンブルク インスティトゥート オブ サイエンス アンド テクノロジー(リスト)

Inventor： ビルツ,トム ,  フォルンハルス,フロリアン

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/252 ,  H01J37/20 ,  H01J27/02 ,  H01J49/26 ,  H01J49/16 ,  H01J49/14 ,  H01J49/00 ,  G01N23/2208 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2258 ,  G01N27/62 ,  H01J37/22

Abstract: 本発明は、試料のその場の共同のナノスケール3次元イメージングおよび化学分析のための方法を提供する。好ましい実施形態では、単一の荷電粒子ビームデバイスが試料の2次元ナノスケール画像のシーケンスを発生するため、および二次イオンマススペクトロメトリデバイスを使用して分析される二次イオンを試料からスパッタするために使用される。2次元画像は、試料の3次元ボリューム表現へと組み合わせられ、そのデータが、化学分析の結果と組み合わせられる。

公开(公告)号：JP2021525944A

公开(公告)日：2021-09-27

申请号：JP2020566607

申请日：2019-05-29

Applicant: ガタン インコーポレイテッド ,  GATAN,INC.

Inventor： バーティルソン、マイケル ,  ハント、ジョン アンドリュー ,  ストウ、デイビッド ジェイ.

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

Abstract: 電子ビーム(eビーム)又は他の励起ビームに曝露された試料から放出された、波長分解及び角度分解されたカソードルミネッセンス(WRARCL)の集光のための装置が、説明される。カソードルミネッセンス光(CL)は、励起ビームに対する特定の角度で試料から放出され得、光の放出及び他の光学現象に関して分析され得る。記載される実施形態は、既存のシステムよりも効率的に、かつ大幅により少ない収差でWRARCLデータの収集を可能にする。

公开(公告)号：JP2021150288A

公开(公告)日：2021-09-27

申请号：JP2021043245

申请日：2021-03-17

Applicant: エフ イー アイ カンパニ ,  FEI COMPANY

Inventor： ジェイムズ ビショップ ,  ダニエル トトンジアン ,  クリス エルバダウィ ,  チャーリーン ロボ ,  ミロス トス

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/08 ,  H01J27/02 ,  H01J37/244

Abstract: 【課題】サンプルを画像化するための方法を提供する。 【解決手段】システム100おいて、荷電粒子ビーム106を用いて低い真空度下でサンプル124を画像化するための方法である。磁場が、検出器128の検出領域に提供される。ガスおよびプラズマが検出領域に提供され、同時にサンプル124から放出された荷電粒子を検出する。サンプル画像が、検出された荷電粒子に基づいて形成される。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021150287A

公开(公告)日：2021-09-27

申请号：JP2021043236

申请日：2021-03-17

Applicant: エフ イー アイ カンパニ ,  FEI COMPANY

Inventor： パヴェル ステユスカル ,  ボーウスラヴ セダ ,  ペトル フラヴェンスカ ,  リボル ノヴァク ,  ヤン ストプカ

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  G01N23/20058 ,  G01N23/2252 ,  G01N23/2206 ,  H01J37/147

Abstract: 【課題】複数の撮像ビームの検出パスを提供し、異なるビームレットスポットから発せられる信号を区別することができる検査方法を提供する。 【解決手段】本方法は、複数の荷電粒子ビームレットを提供し、複数の荷電粒子ビームレットを試料の上に集束させるステップと、複数の照射に応答して試料から発する放射線束を検出するステップと、を含む。複数の荷電粒子ビームレットは、試料上にビームレットパターンになって集束され、ビームレットパターンは、間隔を置いて配置された複数のビームレットスポットを含み、ビームレットスポットは、第1の方向に間隔を置いて配置され、隣接するビームレットスポット間のビームレット間スポット距離を含む。パターンを、第1の方向に、ビームレット間スポット距離を超える距離にわたって、複数の相互に異なるパターン位置に移動させ、対応する放射線束を検出することにより、1つ以上の試料特徴を試料に割り当てる。 【選択図】図6