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公开(公告)号：JP2018186148A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：JP2017085861
申请日：2017-04-25
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/677 , H01L21/304
Abstract: 【課題】基板処理装置の電力消費を削減することができる基板処理装置の運転方法を提供する。 【解決手段】基板処理装置の運転方法は、基板処理部100の動作モードを、待機モードから処理モードに切り替え、基板を基板処理部100で処理し、基板の処理が終了した後に、基板処理部100の動作モードを処理モードから待機モードに切り替え、かつ基板処理部100の少なくとも1つのモータへの電力ライン109を遮断する。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP2018180021A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017073664
申请日：2017-04-03
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】ポンプ内が汚れていても内部を観察可能なポンプ観察装置およびポンプ観察方法を提供する。 【解決手段】レンズを有する撮像装置と、前記撮像装置による撮像方向に向かって流体が噴射される噴射口と、を備え、前記流体が前記レンズと観察対象ポンプとの間にある状態で、前記撮像装置が前記観察対象ポンプを撮影可能である、ポンプ観察装置が提供される。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018178773A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017075262
申请日：2017-04-05
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: F04D29/043 , F04D29/70 , F04D7/04
Abstract: 【課題】汚水用ポンプの効率を保持しつつ、汚水中の固形物を詰まりにくくする。 【解決手段】羽根車3cを有する回転機構を備える汚水用ポンプであって、上記回転機構は、上記羽根車3cが固定された中空の外軸部3b1と、上記外軸部3b1の内部に配置され、上記外軸部3b1に対して異なる速度あるいは異なる方向に回転可能とされると共に、先端部が上記外軸部3b1の先端部より突出された内軸部3b2と、上記内軸部3b2の先端部に固定されたカッター3dとを備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018162717A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2017060318
申请日：2017-03-27
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】ポンプ内の隙間の状態を容易に把握できるポンプ隙間状態把握装置を提供する。 【解決手段】ポンプ隙間状態把握装置は、ポンプ内の隙間を撮影する内視鏡と、内視鏡の先端部から隙間に向けて互いに平行な第1〜第3のレーザ光を照射するレーザ光照射部と、第1のレーザ光が前記隙間の一方の縁に照射されているときに第2および第3のレーザ光の照射点があるか否かを内視鏡の映像に基づいて判断する制御部と、を備える。制御部は、第2および第3のレーザ光の照射点が両方ともある場合には、隙間の状態が正常であると判断し、第3のレーザ光の照射点はあるが第2のレーザ光の照射点が無い場合には隙間の状態が要注意であると判断し、第2および第3のレーザ光の照射点が両方とも無い場合には、隙間の状態が異常であると判断する。 【選択図】 図4
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公开(公告)号：JP2018155132A
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017051018
申请日：2017-03-16
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】電気防食が可能な陸上ポンプを提供する。 【解決手段】陸上ポンプ100は、ケーシング1と、配管に接続されるフランジと、ケーシング1内に配置された羽根車8と、羽根車8を回転させるモータ5と、直流電源43と、直流電源43に接続されたアノード電極40と、直流電源43に接続されたカソード電極41と、を備える。アノード電極40又はカソード電極41は、フランジに設けられている。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018143451A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017041036
申请日：2017-03-03
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: A62C37/36
Abstract: 【課題】部屋ごとに最適な消火を行うことができる消火システムを提供する。 【解決手段】消火システム10は、部屋R内の火炎Fの高さを検出する検出部2、3と、複数の消火手段を噴射可能な噴射部4と、検出部2,3による火炎の高さの検出結果に基づいて、噴射部4が噴射する消火手段を切り替える制御部1と、を備える。消火手段に、化学消火剤、液滴状の水、および霧状の水が含まれる。検出部2,3は、平面視における火炎の位置を検出する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017110676A
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：JP2015243167
申请日：2015-12-14
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 運転中にも安全に潤滑油を取り出すことができる軸受装置を提供する。 【解決手段】 軸受装置301は、潤滑油を使用して駆動軸20を回転可能に軸受けする。軸受装置301は、駆動軸20が貫通する軸受ケーシング31と、軸受ケーシング31内で駆動軸20を覆うカバー391とを備える。軸受ケーシング31は、上部に給油口36が設けられ、下部に潤滑油を溜める油溜34が形成される。カバー391によって、給油口36から挿入されて油溜34の潤滑油に達する可撓性を有する管521が駆動軸20に接触することが防止される。 【選択図】 図4
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公开(公告)号：JP2017106592A
公开(公告)日：2017-06-15
申请号：JP2015241873
申请日：2015-12-11
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 排油時に油溜内に汚れが残りにくい構造の軸受装置を提供する。 【解決手段】 軸受装置は、潤滑油を使用して駆動軸を回転可能に軸受けする軸受装置であって、潤滑油の油溜34が形成された軸受ケーシングを備え、底部は、すり鉢状の形状を有し、すり鉢状の底部の最も低い位置に排油口38が設けられている。 【選択図】 図2
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公开(公告)号：JP2017048703A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：JP2015171426
申请日：2015-08-31
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】流路での液体の流れの剥離を低減させて、ポンプ効率を向上させることができる遠心ポンプを提供する。 【解決手段】本発明の遠心ポンプは、回転軸11と、回転軸11に固定される少なくとも1つの羽根車1と、を有する。羽根車1は、ハブ14と、ハブ14に立設する複数の翼15と、翼15の前面を覆うシュラウド16と、を有し、シュラウド16の内面16aに、規則的に配列された凹部24cまたは凸部24bが設けられる。 【選択図】図2
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