画像取得装置、試料のフォーカスマップを作成する方法及びシステム
    39.
    发明专利
    画像取得装置、試料のフォーカスマップを作成する方法及びシステム 有权
    方法和系统,用于创建图像采集装置,所述样本的焦点图

    公开(公告)号:JPWO2014175220A1

    公开(公告)日:2017-02-23

    申请号:JP2015513749

    申请日:2014-04-21

    摘要: 画像取得装置1では、試料Sに対する対物レンズ25の視野位置Vを移動させつつ、試料Sに対する対物レンズ25の焦点位置を対物レンズ25の光軸方向に往復動させている。これにより、試料Sに対する対物レンズ25の視野位置Vの移動と共に、視野位置Vでの画像データのコントラスト情報を順次取得できる。また、画像取得装置1では、対物レンズ25の焦点位置の往復動に応じて撮像素子6のローリング読み出しによる画像データの取得を実施している。このため、対物レンズ25の焦点位置のスキャンごとに算出される合焦点情報の数も安定し、フォーカスマップを迅速かつ精度良く作成できる。

    摘要翻译: 在图像获取设备1中,在移动的同时在样品S上的物镜25的视点位置V的场,和往复运动物镜25的焦点位置在物镜25的光轴方向相对于所述样品S. 因此,与物镜25的视场位置V的相对于移动到样品S,也可以是顺序地获取在视野位置V.的图像数据的对比度信息 在该图像获取装置1中,实施由图像传感器6的按照物镜25的焦点位置的往复运动的滚动读出的图像数据的获取。 因此,对于物镜25的焦点位置的每次扫描计算的聚焦信息的数量也是稳定的,它可以快速创建并聚焦准确的地图。

    画像取得装置、試料の合焦点情報を取得する方法及びシステム
    40.
    发明专利
    画像取得装置、試料の合焦点情報を取得する方法及びシステム 审中-公开
    方法和系统,用于获取图像获取装置,所述样品的焦点信息

    公开(公告)号:JPWO2014175219A1

    公开(公告)日:2017-02-23

    申请号:JP2015513748

    申请日:2014-04-21

    摘要: 画像取得装置1では、撮像素子6として、複数の画素列31を有すると共にローリング読み出しが可能な二次元撮像素子を用いている。そして、ローリング読み出しにおける各画素列31での読み出しタイミングの遅延を利用し、対物レンズ25の焦点位置を変更させつつ、試料Sにおける所定部位Saの光像が撮像素子6の各画素列31で露光されるように、対物レンズ25の視野V内での試料Sの所定部位Saの移動とローリング読み出しとを同期させている。これにより、各画素列31からの画像データには、試料Sの同一部位において対物レンズ25の焦点位置が変更されたときのコントラスト情報が含まれるので、当該情報に基づいて合焦点情報を迅速かつ精度良く算出できる。

    摘要翻译: 在图像获取设备1中,作为摄像装置6,并使用能够轧制,其具有多个像素列31的读出的两维图像传感器。 然后,通过在摄像元件6的各像素列31中的试样S利用在滚动读出每个像素列31中的读出定时的延迟,同时改变物镜25的焦点位置,曝光光图像的预定部分的萨 因为这将是,并且与样本S的预定部分Sa的考虑物镜25的场V的移动和滚动读出同步。 因此,从像素行31,因为它包含当物镜25的焦点位置在试样S的相同位点被改变时,迅速的对比度信息和所述信息的基础上的焦点信息的图像数据 它可以精确地计算。