KR20210024299A - Monochromator
    2.
    发明专利

    公开(公告)号:KR20210024299A

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:KR1020190102478A

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 본 발명의 일 실시예는, 조사광을 방출하는 광원부; 상기 광원부에서 방출된 상기 조사광의 광경로에 나란한 제1 반사광으로 반사하는 제1 오목 거울; 상기 제1 반사광의 광경로 상에 회동가능하게 배치되는 터릿(turret); 상기 터릿 상에 배치되어 회전 구동되어 상기 제1 반사광을 파장별로 나누어 스펙트럼을 형성하는 복수의 회절 격자 패널; 상기 복수의 회절 격자 패널을 회전 구동하여 각각의 지향각을 미세 조정하는 복수의 제1 구동부; 상기 복수의 제1 구동부가 배치되는 터릿; 상기 터릿을 회전 구동하는 제2 구동부; 및 상기 스펙트럼을 반사하여 파장별로 집광하는 제2 오목 거울;을 포함하며, 상기 복수의 제1 구동부는 각각 상기 제2 구동부 보다 각가속도가 빠르며, 상기 제2 구동부는 상기 복수의 제1 구동부 보다 최대 회전속도가 빠른 단색화 장치를 제공한다.

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