公开(公告)号：JP6143430B2

公开(公告)日：2017-06-07

申请号：JP2012205750

申请日：2012-09-19

Applicant: 三菱プレシジョン株式会社

Inventor： 番 政広 ,  内村 明高 ,  中下 修治

IPC: G01C19/5726 ,  G01C19/5762

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5705 ,  G01C19/574

公开(公告)号：JP2017058198A

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：JP2015182058

申请日：2015-09-15

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 古畑 誠

IPC: G01C19/5776 ,  G01C19/5614

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: 【課題】優れた機械的強度を発揮することのできる物理量センサー、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】物理量センサー1は、基板2と、基板2と対向して配置されている検出用フラップ板47と、検出用フラップ板47を支持する質量部41と、検出用フラップ板47と質量部41とを連結する梁部48と、検出用フラップ板47と質量部41との間に位置し、検出用フラップ板47の面内方向への変位を規制する第1規制部61と、を有している。また、第1規制部61は、矩形状をなす検出用フラップ板47の角部に設けられている。 【選択図】図3

公开(公告)号：JPWO2014061247A1

公开(公告)日：2016-09-05

申请号：JP2014541939

申请日：2013-10-11

Applicant: パナソニックIpマネジメント株式会社

Inventor： 小林　康展 ,  康展 小林

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/5628

CPC classification number: G01C19/5656 ,  G01C19/574

Abstract: 角速度センサは、被検出物に固定されるように構成された固定部と、固定部に接続された一端を有する第1の連接梁と、固定部に接続された一端を有する第2の連接梁と、第1と第2の連接梁の他端にそれぞれ接続された第1と第2の両持梁と、第1と第2の両持梁をそれぞれ振動させるように構成された第1と第2の駆動電極と、第1と第2の両持梁の振動をそれぞれ検出するように構成された第1と第2の検出電極とを備える。第1の両持梁は、第1の連接梁の他端に接続された一端と、第2の連接梁の他端に接続された他端とを有して、第1と第2の連接梁と共に固定部の一側面を囲むように延びる。第2の両持梁は、第1の連接梁の他端に接続された一端と、第2の連接梁の他端に接続された他端とを有して、第1と第2の連接梁と共に固定部の一側面の反対側の他側面を囲むように延びる。この角速度センサは高い感度を有する。

Abstract translation: 角速度传感器中，待检测具有被构造成被固定到物体的固定部分的第二连接梁，其一端连接到固定部分的第一连接梁，其一端连接到所述固定部分 当第一和第一和分别连接到所述第二连接梁和所述第二双支梁，所述第一的另一端和构成所述第一和第二两个提升梁分别振荡 包括第二驱动电极，所述第一和第一和被配置为检测所述第二双支梁，分别的第二检测电极的振动。 前两个Jihari的一端连接到所述第一连接杆的另一端，和第二端连接到所述第二连接梁，所述第一和第二关节运动的另一端 延伸到与光束一起包围所述固定部分的一侧。 两个Jihari的第二个具有一端连接到所述第一连接杆的另一端，和第二端连接到所述第二连接梁，所述第一和第二关节运动的另一端 延伸到与光束一起包围侧相对的另一固定部的一个侧表面。 的角速度传感器具有高的灵敏度。

公开(公告)号：JP2016085134A

公开(公告)日：2016-05-19

申请号：JP2014218434

申请日：2014-10-27

Applicant: 株式会社デンソー

Inventor： 金澤 武 ,  酒井 峰一 ,  城森 知也

IPC: H01L41/113 ,  G01C19/574

CPC classification number: G01C19/574 ,  H01L41/113

Abstract: 【課題】振動型角速度センサの検出感度を向上させる。 【解決手段】固定部20を中心として基板10の平面上における一方向の両側に駆動錘31、32を配置し、固定部20を中心として基板10の平面上における一方向と垂直な方向の両側に検出梁41を延設し、検出梁41を挟んだ一方向の両側に、駆動錘31、32を両持ちする駆動梁42を検出梁41と平行に配置し、検出梁41と駆動梁42を一方向に延設された連結梁43で連結し、検出梁41の一方向における幅を、一方向における固定部20の幅、基板10の平面上における一方向に垂直な方向における固定部20、連結梁43の幅のいずれよりも小さくし、駆動梁42の一方向における幅を、一方向における駆動錘31、32の幅、基板10の平面上における一方向に垂直な方向における駆動錘31、32、連結梁43の幅のいずれよりも小さくする。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提高振动型角速度传感器的检测灵敏度。解决方案：驱动重物31,32以固定部件20为中心在基板10的平面上的一个方向上设置在两侧，检测梁 41以固定部件20为中心在垂直于基板10的平面上的一个方向的方向上延伸，然后从两侧支撑驱动重物31,32的驱动梁42平行于 在夹着检测光束41的一个方向上的两侧的检测光束41以及检测光束41和驱动光束42与沿着一个方向延伸的各个连接光束43耦合，其中每个检测光束41的宽度 在一个方向上小于固定部20在一个方向上的宽度，固定部20在与基板10的平面上的一个方向垂直的方向上的宽度，宽度 每个连接梁43和每个驱动梁42在一个方向上的宽度小于驱动重物31,32在一个方向上的宽度，每个驱动重物31,32的垂直于 衬底10的平面上的一个方向，以及每个连接梁43的宽度。图1

公开(公告)号：JP2015072277A

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：JP2014225959

申请日：2014-11-06

Applicant: ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド

Inventor： バージェス・アール・ジョンソン ,  バラト・パント

IPC: G01C19/5726 ,  H01L29/84 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/574 ,  G01C19/5726

Abstract: 【課題】傾斜磁場に感応しないようにする。 【解決手段】音叉式ジャイロスコープ100は、導電性サスペンション133、134を 介して基板129に連結されたアンカー144、145と接続される第1導電性プルーフ マス110及び第2導電性プルーフマス120を備えている。第1の導電性プルーフマス の対向する2つの端111、112及び第2の導電性プルーフマスの対向する2つの端1 21、122に電気抵抗中間ポイント171が電気的に接続されており、該中間ポイント を介して、音叉式ジャイロスコープから感知電荷増幅器130に信号を提供し、感知電荷 増幅器から、音叉式ジャイロスコープの回転を示す出力信号V out を発生する。中間ポイン トでは傾斜磁場の影響がキャンセルされるので、出力信号には、傾斜磁場によるノイズが 含まれていない。 【選択図】図1C

Abstract translation: 要解决的问题：防止对梯度磁场的响应。解音：音叉式陀螺仪100包括分别与锚定件144和145连接的第一导电证明物质110和第二导电证明物质120， 基板129分别经由导电悬浮液133和134。 电阻中点171电连接到第一导电保护质量块的两个相对端111和112以及第二导电证明块的两个相对端121和122。 通过中点从音叉型陀螺仪向检测电荷放大器130提供信号，并且从检测电荷放大器产生音叉型陀螺仪的输出信号V指示旋转。 在中点处，梯度磁场的影响被消除，因此输出信号不包含由梯度磁场引起的噪声。

公开(公告)号：JP5649972B2

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：JP2010533522

申请日：2008-10-02

Applicant: ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh ,  ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh

Inventor： ノイル ラインハルト ,  ノイル ラインハルト ,  クラッセン ヨハネス ,  クラッセン ヨハネス ,  オームス トルステン ,  オームス トルステン ,  クールマン ブルクハルト ,  クールマン ブルクハルト ,  フランケ アクセル ,  フランケ アクセル ,  コーン オリヴァー ,  コーン オリヴァー ,  クリストフ マイゼル ダニエル ,  クリストフ マイゼル ダニエル ,  ハウアー イェルク ,  ハウアー イェルク ,  ゴメス ウド−マルティン ,  ゴメス ウド−マルティン ,  ケーア ケルステン ,  ケーア ケルステン

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/574 ,  F16F1/025 ,  G01C19/5747 ,  G01P3/44

公开(公告)号：JP5639087B2

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：JP2011551455

申请日：2010-02-11

Applicant: マキシム インテグレイテッド ゲーエムベーハーMaxim Integrated GmbH ,  マキシム インテグレイテッド ゲーエムベーハーMaxim Integrated GmbH

Inventor： アレッサンドロ ロッキ， ,  アレッサンドロ ロッキ，

IPC: G01C19/5755 ,  G01C19/56 ,  G01C19/574

CPC classification number: G01C19/574

公开(公告)号：JP2014160070A

公开(公告)日：2014-09-04

申请号：JP2014024723

申请日：2014-02-12

Applicant: Freescale Semiconductor Inc ,  フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド

Inventor： ANDREW C MCNEIL ,  GARY G LI

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/5684 ,  G01C19/574 ,  G01C25/00 ,  Y10T29/49002

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spring system for a MEMS device.SOLUTION: A spring system includes stiff beams 76, 78, 80, 82 oriented to form a parallelogram arrangement 84 linking a pair of drive masses 30, 32 of a MEMS device 72. The beams are oriented diagonal to a drive direction 56 of the masses 30, 32. Diagonally opposing corners 86, 88 of the parallelogram arrangement 84 are coupled to the drive masses 30, 32. A spring 90 is coupled to a corner 94 of the parallelogram arrangement, and a spring 92 is coupled to a diagonally opposing corner 96. The springs 90, 92 are interconnected with a sense frame 34 surrounding the drive masses. The beams and side springs are stiff to substantially prevent in-phase motion of the drive masses. Rotationally compliant flexures 102, 104, 106, 108, allow the arrangement 84 to collapse and expand to enable anti-phase motion 60 of the drive masses.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于MEMS器件的弹簧系统。解决方案：弹簧系统包括刚性梁76,78,80,82，其被定向成形成平行四边形布置84，其将MEMS器件的一对驱动块30,32连接起来 梁相对于质量块30,32的驱动方向56定向。平行四边形装置84的对角相对的角86,88联接到驱动块30,32。弹簧90联接到 平行四边形布置和弹簧92联接到对角相对的角部96.弹簧90,92与围绕驱动块的感测框架34互连。 梁和侧弹簧是刚性的，以基本上防止驱动块的同相运动。 旋转兼容的挠曲件102,104,106,108允许装置84折叠和膨胀以使驱动质量块能够进行反相运动。

公开(公告)号：JP5562517B2

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：JP2007080397

申请日：2007-03-27

Applicant: コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ

Inventor： ロベール フィリップ ,  デュラフール ローラン

IPC: G01C19/5733 ,  G01C19/56 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/0802

公开(公告)号：JP5444199B2

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：JP2010271387

申请日：2010-12-06

Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社

Inventor： 希元 鄭 ,  雅秀 林 ,  聖子 山中

IPC: G01P15/125 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/18

CPC classification number: B81B3/0018 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: To provide a combined sensor that can detect a plurality of physical quantities. With the combined sensor, it is possible to realize, while maintaining performance, a reduction in size and a reduction in costs by increasing elements that can be shared among respective sensors. A weight M2 and a detection electrode DTE2 used in an angular-velocity detecting section are also used as a reference capacitive element of a Z-direction-acceleration detecting section configured to detect acceleration in a Z direction. That is, in the Z-direction-acceleration detecting section, a detection capacitive element including the weight M2 and the detection electrode DTE2 configuring the angular-velocity detecting section is used as a reference capacitive element for a detection capacitive element formed by a detection electrode DTE5 and a weight M4.