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    複合センサ
    3.
    发明专利
    複合センサ 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017183646A1

    公开(公告)日：2019-03-07

    申请号：JP2017015646

    申请日：2017-04-19

    申请人： 富士フイルム株式会社

    发明人： 藤井 隆満

    IPC分类号： G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L41/113 ,  G01C19/56

    摘要： 【課題】製造が容易であり、かつ小型化が実現できる、角速度に加え静的加速度の検出が可能な複合センサを提供する。 【解決手段】板状基材(10)の一部として構成された錘部(15)と、錘部(15)に対して所定の振動軸の方向に振動を誘起する振動励起部と、コリオリ力を受けて生じる錘部(15)の変位を検知して角速度を算出する角速度検出部とを備え、振動励起部および角速度検出部が、それぞれ板状基材(10)の一面に設けられた下部電極(21)、圧電膜(22)および上部電極(24A),(24B)の積層体からなる圧電素子(25),(26)を備えてなる角速度センサと、錘部(15)の一部に設けられた可動電極(35)、可動電極(35)に対向して設けられた固定電極(45)、および両電極(35)、(45)間の静電容量の変化を検出して加速度を算出する加速度検出部を備えた加速度センサとを備えた複合センサ(1)とする。 【選択図】図1

    角速度検出素子
    9.
    发明专利
    角速度検出素子 有权
    角速度检测元件

    公开(公告)号：JPWO2014077297A1

    公开(公告)日：2017-01-05

    申请号：JP2014547014

    申请日：2013-11-14

    申请人： 株式会社村田製作所

    发明人： 恒介 渡辺 ,  恒介 渡辺

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01C19/5642 ,  G01C19/5656 ,  H01L41/1132

    摘要： 角速度検出素子(10)の振動体(11)は、中心基部(12)から十字状に設けた検出梁部(13A〜13D)と、隣接する検出梁部(13A〜13D)の間に接続した駆動梁部(14A〜14D)を備える。検出梁部(13A〜13D)は、中心基部(12)に接続された基端検出梁(24)と、二又に分かれる左側検出梁(22)と右側検出梁(23)とを備える。左側検出梁(22)は、左脇の駆動梁部(14A〜14D)に接続され、右側検出梁(23)は、右脇の駆動梁部(14A〜14D)に接続される。駆動梁部(14A〜14D)は、対向するもの同士が同位相となり、隣接するもの同士が逆位相となるように、中心基部(12)に近づく方向と離れる方向とに駆動振動する。

    摘要翻译： 角速度检测元件（10）（11）的振子，在从中央基部（12）和（13A到13D）的截面形状提供的检测梁部，连接在相邻的检测器梁部之间（图13A至13D） 包括驱动梁一个（14A-14D）。 检测梁部（13A至13D）上设置有连接近侧感测光束（24）到所述中央基部（12），左侧的感测光束（22）右侧传感器光束（23），并且分成分叉。 左传感器光束（22）被连接到驱动梁（14A-14D）的左侧，右感应梁（23）被连接到驱动梁（14A-14D）的右侧。 驱动梁（14A-14D）是彼此相反，如相邻的具有相反的相位，驱动一个方向振动从朝向中央基部（12）的方向远离的相同的相位。