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公开(公告)号:JP6674474B2
公开(公告)日:2020-04-01
申请号:JP2017543256
申请日:2016-09-26
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683 , C04B35/117 , H02N13/00 , C04B35/111
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公开(公告)号:JP6646658B2
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:JP2017517975
申请日:2016-05-12
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N23/207 , H01L33/02 , C04B35/117
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