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公开(公告)号：JP2020047817A
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：JP2018175824
申请日：2018-09-20
Applicant: 信越化学工業株式会社
Abstract: 【解決手段】光学素子が内部に収容された収容部材の光学素子の発光方向前方に設けられる窓材と、窓材が収容部材と接する部分に形成された金属系接着層とを備える光学素子パッケージ用リッドであって、金属系接着層が、被覆剤により被覆された金属ナノ粒子、ハンダ粉末及び分散媒を含む接着組成物で形成されている光学素子パッケージ用リッド。 【効果】短波長の光による劣化や割れ、発光素子の発熱による接着剤の歪みや崩壊、これらに伴う長期的信頼性の問題を解決することができる。即ち、耐熱性、耐紫外線性等に優れた光学素子パッケージ用リッド及び光学素子パッケージを提供することができる。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6376046B2
公开(公告)日：2018-08-22
申请号：JP2015114759
申请日：2015-06-05
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: B24B37/00 , H01L21/304 , C03C19/00 , B24B37/08
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公开(公告)号：JP2018030227A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2017157548
申请日：2017-08-17
Applicant: 信越化学工業株式会社
Abstract: 【解決手段】回転可能に設けられた研磨プレートの下面に伸縮可能な弾性体シートを取り付け、この弾性体シートの下面に研磨布を取り付けると共に、上記弾性体シートを複数箇所でそれぞれ所用圧力で押圧する手段を設け、弾性体シートの複数箇所での押圧力変化に応じて研磨布面を所望の逆凸形状に変形させる加工ツールを用いて、前記逆凸形状に変形させた研磨布面を基板に押し当て、上記加工ツールを回転移動させて基板の所用箇所を研磨する基板の製造方法。 【効果】本発明によれば、基板表面の平坦度の修正及び厚みの調整の際に、加工ツールを交換することなく一つの加工ツールにより、基板凸部分の選択的な研磨除去と基板全体の厚み調整を同時に行うことができるため、ツール交換の手間をなくして短時間での研磨を可能にし、基板の生産性を高め、経済的に基板を製造できる。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2018026548A
公开(公告)日：2018-02-15
申请号：JP2017138898
申请日：2017-07-18
Applicant: 信越化学工業株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C27/00 , C03C27/08 , C22C45/003
Abstract: 【解決手段】合成石英ガラスからなる窓材の主表面の外周縁部に接着剤を有する合成石英ガラスリッドであって、前記接着剤がテルル及び銀を含み、更にタングステン、バナジウム、リン、バリウム及びジルコニウムからなる群より選ばれる1種以上を含む低融点金属ガラスである合成石英ガラスリッド。 【効果】本発明によれば、従来使用されてきた有機系接着剤に見られる短波長の光による割れや剥がれ、もしくは金錫系等の緻密な金属結晶構造を有する金属系接着剤が弱点とする異種材料接合時の応力の問題を解決することが可能となる。また、本合成石英ガラスリッドを用いた光学素子用パッケージは、来るべき水銀ランプ代替の光学素子登場時に、パッケージング材として有効なものとなる。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016043692A
公开(公告)日：2016-04-04
申请号：JP2015150738
申请日：2015-07-30
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: B29C33/38 , H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C59/026 , B24B9/065 , B29C33/3842 , G03F7/0002 , B29K2909/08
Abstract: 【解決手段】基板側面が研削により加工されたインプリント・リソグラフィ用角形基板16の側面に対して、垂直方向に一定圧力で回転研磨パッド21を押し当てながら回転研磨パッド21と角型基板16とを相対的に前記側面に対して平行移動させて、角型基板16の側面を研磨するインプリント・リソグラフィ用角形基板16の製造方法。 【効果】角形基板16の前記製造方法によれば、インプリント・リソグラフィの際に高精度に押圧及びパターン形状を制御することができ、高精細で複雑なパターンの転写が可能になる。 【選択図】図7
Abstract translation: 解决方案：提供一种用于生产用于压印光刻的矩形基板16的方法，其通过相对于侧面平行移动旋转抛光垫21和矩形基板16同时按压旋转抛光来抛光矩形基板16的侧表面 衬垫21垂直于矩形衬底16的侧表面，用于压印光刻，其中通过在恒定压力下抛光来处理衬底侧表面。解决方案：矩形衬底16的制造方法可以精确地控制按压力和图案形状 并在压印光刻过程中转移高精度和复杂的图案。选择图：图7
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公开(公告)号：JP5858623B2
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：JP2011027405
申请日：2011-02-10
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: B29C59/02 , H01L21/027 , B29C33/38
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/60
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公开(公告)号：JP5776491B2
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：JP2011232522
申请日：2011-10-24
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: H01L21/027 , C03C19/00 , G03F1/60
CPC classification number: B24B37/042 , B24B1/00 , B24B37/02 , B24B5/50 , B24B7/228 , B24B9/065 , G03F1/60 , Y10T428/24355 , Y10T428/24479
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公开(公告)号：JP2020021937A
公开(公告)日：2020-02-06
申请号：JP2019135101
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工業株式会社
Abstract: 【課題】 短波長、特に300nm以下の波長領域の光学素子が、中空構造を必要とするデバイスに対してその機能を長期的に安定して発揮させることができる合成石英ガラスキャビティ、合成石英ガラスキャビティリッド、及び光学素子パッケージ、並びに合成石英ガラスキャビティ及びキャビティリッドを寸法精度よく製造でき、異種材料接着時の応力の問題の解決が可能な合成石英ガラスキャビティ、合成石英ガラスキャビティリッド及び光学素子パッケージの製造方法を提供すること。 【解決手段】 発光素子又は受光素子が設置される基板に対し、前記素子を覆って前記基板に接着させる、合成石英ガラスキャビティであって、前記合成石英ガラスキャビティの内側表面のうち、前記素子の発光面又は受光面に対向する面が鏡面であり、それ以外の面は粗面である合成石英ガラスキャビティ。 【選択図】 なし
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