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公开(公告)号:JP2016535650A
公开(公告)日:2016-11-17
申请号:JP2016550665
申请日:2014-10-22
发明人: アルフレッド デイヴィッド ジョンソン , アルフレッド デイヴィッド ジョンソン , コリン カーレイ , コリン カーレイ
CPC分类号: A61F2/90 , A61F2/06 , A61F2/844 , A61F2/86 , A61F2002/068 , A61F2002/823 , A61F2210/0014 , A61F2210/0076 , A61F2230/0017 , A61F2230/0069 , A61F2240/001 , A61L31/088 , C23C14/0005 , C23C14/042 , C23C14/165 , C23C14/34 , C23C14/5846
摘要: 3次元薄膜ニチノール(NiTi)デバイスの製造方法は、基板上にニチノール及び犠牲材料の複数層を堆積させるステップを含む。3次元薄膜ニチノールデバイスは、第1のニチノール層と第2のニチノール層とを含み、第2のニチノール層は、マスクされかつ犠牲材料によって被覆されていない領域で第2ニチノール層の堆積中に第1ニチノール層に接合される。【選択図】図1A
摘要翻译: 3D薄镍钛诺(镍钛)制造装置,其包括在基板上沉积镍钛诺和牺牲材料的多个层的步骤的方法。 3D薄镍钛诺装置包括:第一镍钛诺层和第二镍钛合金层,第二镍钛合金层,第一,第二镍钛诺层的未覆盖掩蔽和牺牲材料的区域在沉积期间 1接合到镍钛合金层。 点域1A
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公开(公告)号:JP6602775B2
公开(公告)日:2019-11-06
申请号:JP2016550665
申请日:2014-10-22
发明人: ジョンソン アルフレッド デイヴィッド , カーレイ コリン
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