公开(公告)号：JP2002544108A

公开(公告)日：2002-12-24

申请号：JP2000617148

申请日：2000-05-01

申请人： グリーンリーフ コーポレイション

发明人： アーン，ジャンジー

IPC分类号： G01R33/09 ,  C04B41/00 ,  C04B41/80 ,  G11B5/10 ,  G11B5/31 ,  G11B5/39 ,  G11B5/40 ,  H01L43/02 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12

CPC分类号： C04B41/009 ,  C04B41/0027 ,  C04B41/80 ,  C04B2111/90 ,  G11B5/10 ,  G11B5/102 ,  G11B5/3103 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3903 ,  G11B5/40 ,  Y10T29/49032 ,  C04B35/117 ,  C04B35/56

摘要： (57)【要約】 【解決手段】 基板の少なくとも一部分の電気抵抗率を大きくする方法は、セラミック基板に対して、少なくとも一種のイオン源からのイオンを用いて、イオン注入及び／又はプラズマ浸漬を行なうことを含んでおり、イオン源は、希ガス、窒素、酸素、ハロゲン、ハロゲン化合物、ケイ素及びアンチモンからなる群から選択される。 この方法は、基板の表面から基板の内部に、電気抵抗率の高い変質領域を形成する。 この方法は、薄膜磁気記録ヘッド及び該ヘッドを内蔵する装置に適用することができる。 この方法は、従来の磁気記録ヘッドの製造において発生した欠点を解消するものである。