公开(公告)号：KR20210028882A

公开(公告)日：2021-03-15

申请号：KR1020190109975A

申请日：2019-09-05

Applicant: 주식회사 태성

Inventor： 김종학 ,  홍을표

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/67

CPC classification number: G03F7/0025 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/67075 ,  H01L21/6715

Abstract: 본 발명은 박막 기판의 표면에 회로 패턴을 형성하는 기판 현상 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 표면으로부터 일정 두께 이상의 현상액을 외부로 배출시킴으로써 현상액의 퍼들링(puddling) 현상을 방지하여 기판 표면에 현상액이 고르게 도포될 수 있도록 하기 위한 현상액 배출 기능을 갖는 기판 현상 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판을 경사지게 배치한 상태로 이송하면서 현상액을 분사 도포함으로써 기판의 처짐을 방지함과 아울러 기판의 중앙 또는 가장자리 부근에 현상액이 두껍게 쌓이는 현상을 방지하고, 기판의 표면으로부터 일정 두께 이상을 초과하는 현상액을 유도하여 외부로 배출시킴으로써 퍼들링 현상을 최소화할 수 있다.

公开(公告)号：KR102228353B1

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：KR1020190109975A

申请日：2019-09-05

Applicant: 주식회사 태성

Inventor： 김종학 ,  홍을표

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/67

CPC classification number: G03F7/0025 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/67075 ,  H01L21/6715

Abstract: 본 발명은 박막 기판의 표면에 회로 패턴을 형성하는 기판 현상 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 표면으로부터 일정 두께 이상의 현상액을 외부로 배출시킴으로써 현상액의 퍼들링(puddling) 현상을 방지하여 기판 표면에 현상액이 고르게 도포될 수 있도록 하기 위한 현상액 배출 기능을 갖는 기판 현상 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판을 경사지게 배치한 상태로 이송하면서 현상액을 분사 도포함으로써 기판의 처짐을 방지함과 아울러 기판의 중앙 또는 가장자리 부근에 현상액이 두껍게 쌓이는 현상을 방지하고, 기판의 표면으로부터 일정 두께 이상을 초과하는 현상액을 유도하여 외부로 배출시킴으로써 퍼들링 현상을 최소화할 수 있다.