Patent search ap:("アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ") AND inv:"福家崇司" Page 1

1.

发明专利
ネガ型感光性シロキサン組成物有权

公开(公告)号：JP6272753B2

公开(公告)日：2018-01-31

申请号：JP2014509225

申请日：2013-04-05

Applicant: アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ

Inventor： 横山大志 , 能谷敦子 , 田代裕治 , 吉田尚史 , 田中泰明 , 福家崇司 , 高橋恵 , 谷口克人 , 野中敏章

IPC: G03F7/075

CPC classification number: G03F7/0757 , C07F7/1804 , C08L83/04 , C09D183/04 , C09D183/06 , G03F7/0755 , G03F7/085 , G03F7/30

2.

发明专利
ネガ型感光性シロキサン組成物有权

公开(公告)号：JP6513399B2

公开(公告)日：2019-05-15

申请号：JP2014509224

申请日：2013-04-05

Applicant: アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ

Inventor： 横山大志 , 能谷敦子 , 田代裕治 , 吉田尚史 , 田中泰明 , 福家崇司 , 高橋恵 , 谷口克人 , 野中敏章

IPC: H01L21/027 , G03F7/075

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