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公开(公告)号：JP2015532200A
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：JP2015534806
申请日：2013-09-30
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： マーク・ラヴェルディエール , 寛一 桑原 , 寛一 桑原 , 幸一 蔵田 , 幸一 蔵田 , ジョン・ピー・プグリア , ベン・マイ・パク・リー , ルイス・バロウズ , カルヤン・マドハヴァラム , ドミトリ・メン , ジェイ・カール・ニーマイヤー , クレイグ・ウォーレス・マートランド
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本開示は、例えば半導体製造で使用される液体などを含む液体を浄化するための取外し可能な浄化装置カセットを使用するモジュール式浄化システムに関する。浄化システムは、浄化装置入口ポートおよび浄化装置出口ポートを有する取外し可能な浄化装置カセットとマニホルドアセンブリとを備え得る。マニホルドアセンブリは、カセットに/から流体を供給するためのマニホルドポートを形成するものに対する複数の連結システムを備えることが可能である。いくつかの実施形態においては、連結システムは、360度未満の回転により360度にわたる螺合を実現し得る連結ナットを使用し得る。
摘要翻译： 本发明涉及到，例如，使用可移除的净化盒用于纯化液体，包括在半导体制造中使用的液体一模块化净化系统。 净化系统可以包括可移除的净化盒和具有该净化器入口端口和净化器出口的歧管组件。 歧管组件可以包括多个耦合系统的为那些形成用于从磁带盒/供给流体歧管的端口。 在一些实施例中，耦合系统可以使用能够通过小于360度的旋转实现拧在360度的联接螺母。
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公开(公告)号：JP2015532199A
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：JP2015534804
申请日：2013-09-30
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： マーク・ラヴェルディエール , 寛一 桑原 , 寛一 桑原 , 幸一 蔵田 , 幸一 蔵田 , ジョン・ピー・プグリア , ベン・マイ・パク・リー , ルイス・バロウズ , カルヤン・マドハヴァラム , ドミトリ・メン , ジェイ・カール・ニーマイヤー
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本開示は、補強特徴を有する浄化カセットに関する。一実施形態は、張力部材を有する浄化カセットに関する。浄化システムは、媒体空洞を画成する取外し可能なカセットを備え得る。張力部材のセットが、第1の側壁部と第2の側壁部との間にわたり存在し得る。張力部材のセットは、媒体空洞を複数のレーンに分割し得る。
摘要翻译： 本发明涉及清洗盒带具有加强特征。 一个实施例涉及一种具有抗拉构件的净化盒。 净化系统可以包括可移除的盒，其限定了媒体空腔。 设置张力构件可在第一侧壁和第二侧壁部之间呈现了过来。 设置张力构件可在多个通道划分介质腔。
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公开(公告)号：JP6360833B2
公开(公告)日：2018-07-18
申请号：JP2015534804
申请日：2013-09-30
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： マーク・ラヴェルディエール , 桑原 寛一 , 蔵田 幸一 , ジョン・ピー・プグリア , ベン・マイ・パク・リー , ルイス・バロウズ , カルヤン・マドハヴァラム , ドミトリ・メン , ジェイ・カール・ニーマイヤー
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
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公开(公告)号：JP2016508200A
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：JP2015534805
申请日：2013-09-30
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： マーク・ラヴェルディエール , ジョン・ピー・プグリア , ベン・マイ・パク・リー , カルヤン・マドハヴァラム , クレッグ・ウォーレス・マートランド , ドミトリ・メン , ジェイ・カール・ニーマイヤー
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本開示は、流体連結用の連結システムに関する。さらにより詳細には、いくつかの実施形態は、半導体製造流体と共に使用するための流体連結に関する。連結システムは、ナット(110)の多条ねじを利用することにより連結ナットの360度未満の回転によって流体継手(112、114)を封止する連結ナット(110)を使用する。一実施形態によれば、連結ナットは、360度未満の回転により少なくとも360度にわたる螺合をもたらす。実施形態は、複数のポートを同時に封止し得る連結システムをさらに提供する。
摘要翻译： 本公开涉及一种用于流体耦合连接系统。 甚至更具体地，一些实施例涉及用于与半导体制造流体使用的流体耦合。 连接系统使用的螺母（110）连接螺母（110）通过利用多个线程以密封由小于360度连接螺母的旋转流体联接件（112，114）。 根据一个实施例，由小于360度的旋转经过至少360度耦合螺母导致接合。 实施例还提供了可以在同一时间密封所述多个端口被停止的耦合系统。
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