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公开(公告)号：JP2017509147A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：JP2016549251
申请日：2015-01-30
申请人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド , ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド , インテグリス インコーポレーテッドEntegris, Inc. , インテグリス インコーポレーテッドEntegris, Inc.
发明人： ケー ストーン デール , ケー ストーン デール , クック リチャード , クック リチャード , クアン リン イ , クアン リン イ , ジー ブレイク ジュリアン , ジー ブレイク ジュリアン , ストーン リュドミラ , ストーン リュドミラ
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： C23C16/50 , C23C28/042 , C23C28/044 , H01L21/6831 , H02N13/00
摘要： 一実施形態において、静電クランプを製造する方法は、絶縁本体を形成するステップと、前記絶縁本体の上に電極を形成するステップと、前記電極の上に積層を堆積するステップとを含み、前記積層は原子層堆積(ALD)を用いて堆積された酸化アルミニウム層を備える。
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公开(公告)号：JP2021535875A
公开(公告)日：2021-12-23
申请号：JP2021510355
申请日：2019-07-30
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： ボアズ、グレゴリー
IPC分类号： B65D43/02
摘要： 流体容器用のキャップは、本体と、本体に沿ってスライド可能であるとともに環状溝を有する作動リングと、固定状態および解放状態を有するとともに作動リングとの接触により解放状態に配置可能な複数のラッチとを有している。流体容器用の閉鎖システムは、キャップと、キャップのラッチによって係合される流体容器に取り付けられた口縁部とを有している。口縁部は、流体容器または流体容器に接続されるアダプタの一部と一体であってもよい。容器の自動取り扱い方法は、ロボットアームを使用してキャップの作動リングの環状溝を係合させることと、作動リングを駆動することと、容器からキャップを取り外すこととからなる。本方法は、キャップとのロボットアームの係合を介して容器を搬送することにさらに含んでいてもよい。
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公开(公告)号：JP2021192429A
公开(公告)日：2021-12-16
申请号：JP2021126732
申请日：2021-08-02
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： ホワイト, ダニエラ , パーソン, トーマス , ホワイト, マイケル , クーパー, エマニュエル アイ. , ダス, アタヌ
IPC分类号： C11D17/08 , C11D3/04 , C11D7/06 , C11D7/32 , C11D7/08 , C11D7/26 , C11D7/36 , C11D7/22 , H01L21/304
摘要： 【課題】化学機械研磨(CMP)後、低誘電率材料、窒化シリコン材料又はタングステン含有材料を損なわずに、マイクロ電子デバイスの表面からのセリア粒子及びCMP汚染物質を効果的に除去する方法及び水性除去組成物を提供する。 【解決手段】マイクロ電子デバイスを、少なくとも1つのpH調整剤と、少なくとも1つの還元剤と、少なくとも1つの有機添加剤と、水と、任意選択的に少なくとも1つの錯化剤と、任意選択的に少なくとも1つの酸素捕捉剤とを含む水性除去組成物と接触させ、マイクロ電子デバイスから、セリア粒子とCMP汚染物質とを除去する。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2021531380A
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：JP2021502808
申请日：2019-07-18
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： ホワイト, ダニエラ , トーマス, エリザベス , リウ, チュン , ホワイト, マイケル , ワン, チャオ−ユ , フライ, ドナルド
摘要： 例えば、化学機械研磨(CMP)後洗浄により、プロセス中のマイクロ電子デバイス基板を洗浄して、その表面から残留物を除去するための洗浄組成物および方法であって、洗浄組成物が、コバルト、銅または両方などの露出された金属とともに、誘電性または低k誘電性材料を含む基板表面を洗浄するのに特に有効であることができ、洗浄組成物が、露出された金属の腐食を防止するための腐食防止剤を含む、洗浄組成物および方法。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6946340B2
公开(公告)日：2021-10-06
申请号：JP2018554521
申请日：2017-04-10
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： チャタートン, トーマス ビー. , トーマス, ジェイコブ
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公开(公告)号：JP2021522990A
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2020560840
申请日：2019-04-10
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： ジェイバー, ジャド アリ , チェン, クウォク‐シュン , リー, サクサータ
摘要： ポリアミドでコーティングされた濾過膜、濾過膜を含むフィルターおよびフィルターカートリッジ、ならびに濾過膜を使用および作製する方法が記載される。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP2021119314A
公开(公告)日：2021-08-12
申请号：JP2021054682
申请日：2021-03-29
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： エルザー, ダニエル , タン, イン , チェンバーズ, バリー ルイス , スウィーニー, ジョーゼフ ディー. , ウイルソン, ショーン エム. , ウラネキー, スティーヴン , ビショップ, スティーヴン イー. , マクマナス, ジェームズ ヴィー. , ジョーンズ, エドワード イー. , バイル, オレグ , デプレ, ジョーゼフ アール. , スキャネル, クリストファー
摘要： 【課題】安全で、高い信頼性を有し、経済的であるパッケージ構成を有する、流体供給パッケージを提供する。 【解決手段】流体分配組立体14が流体供給パッケージ10内で流体供給容器12に連結され、前記流体分配組立体が、バルブヘッド入口通路およびバルブヘッド出口通路に連通される中にあるバルブチャンバ内に流体分配バルブを有するバルブヘッド26と、完全な閉位置と完全な開位置との間で前記流体分配バルブを平行移動させるように構成される手回しハンドル30と、前記バルブチャンバ内の前記流体分配バルブの閉状態または開状態を示す出力を発生させるように構成される位置インジケータとを備え、前記バルブヘッドは、開状態インジケータディスプレイおよび閉状態インジケータディスプレイを備える、 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6908782B2
公开(公告)日：2021-07-28
申请号：JP2020517764
申请日：2018-06-07
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： デプレ, ジョゼフ , ラ ボルド, エドガー
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公开(公告)号：JP2021507104A
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：JP2020532935
申请日：2018-12-13
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： エルドリッジ, デーヴィッド ジェームズ , トーマス, ジェイコブ , クリアリー, ジョン エム. , バトル, スコット エル. , グレッグ, ジョン , チャタートン, トーマス , ヘンドリックス, ブライアン シー. , バウム, トーマス エイチ.
IPC分类号： C23C16/448
摘要： 本発明は、改良された蒸発装置ベッセル本体と、そのベッセル本体内に配置される支持トレイアセンブリ構成とを有する蒸発装置またはアンプルアセンブリを対象とし、それらベッセル本体および支持トレイは協働して、蒸発性物質の使用率および一様性を向上させる。 【選択図】図2B
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